Table Stable生產(chǎn)的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。 可能有多種變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺,或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。 特點: ?通過...
F54自動化薄膜測繪Filmetrics F54 系列的產(chǎn)品能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米 可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數(shù)量限制之...
BONDSCALE與EVG的行業(yè)基準GEMINIFBXT自動熔融系統(tǒng)一起出售,每個平臺針對不同的應用。雖然BONDSCALE將主要專注于工程化的基板鍵合和層轉移處理,但GEMINIFBXT將支持要求更高對準精度的應用,例如存儲器堆疊,3D片上系統(tǒng)(SoC)...
NIL300mmEV集團企業(yè)技術開發(fā)和知識產(chǎn)權總監(jiān)MarkusWimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為光刻/納米壓印技術供應鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,從而縮短創(chuàng)新光...
納米壓印微影技術可望優(yōu)先導入LCD面板領域原本計劃應用在半導體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(Nano-ImpLithography;NIL),現(xiàn)將率先應用在液晶顯示器(LCD)制程中。NIL為次世代圖樣形成技術。據(jù)ETNews報導,南韓顯示器面板企業(yè)LC...
F10-ARc: 走在前端 以較低的價格現(xiàn)在可以很容易地測量曲面樣品,包括眼鏡和其他光學鏡片的防反射涂層, *需其他設備一小部分的的價格就能在幾秒內(nèi)得到精確的色彩讀值和反射率測量. 您也可選擇升級薄膜厚度測量軟件, 操作上并不需要嚴格的訓練, 您甚至...
AVI 400-XL AVI 400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。 ...
Filmetrics 的技術Filmetrics 提供了范圍***的測量生物醫(yī)療涂層的方案:支架: 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器。 我們的 F40 在幾十個實驗室內(nèi)得到使用,測量鈍化和/或藥 物輸送涂層。我們有獨特的測量系統(tǒng)對整個支架表面的自動厚...
軟件升級提供專門用途的軟件。UPG-RT-to-Thickness升級的厚度求解軟件,需要UPG-Spec-to-RT。UPG-Thickness-to-n&k升級的折射率求解軟件,需要UPG-RT-to-Thickness。UPG-F10-AR-...
EVG?540自動晶圓鍵合機系統(tǒng)全自動晶圓鍵合系統(tǒng),適用于蕞/大300mm的基板技術數(shù)據(jù)EVG540自動化晶圓鍵合系統(tǒng)是一種自動化的單腔室生產(chǎn)鍵合機,設計用于中試線生產(chǎn)以及用于晶圓級封裝,3D互連和MEMS應用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)。EVG540鍵合機基于模塊化設...
曲面基底上的納米結構在許多領域都有著重要應用,例如仿生學、柔性電子學和光學器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術通常采用剛性模板,可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,但是模板不能彎折,無法在曲面基底上壓印制備納米結構。而采用彈性模板的軟壓印技術可以在無外界提供壓力下與曲面保形...
我們應該如何正確使用輪廓儀? 一、準備工作 1.測量前準備。 2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。 3.擦凈工件被測表面。 二、測量 1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。 2.工件固...
鍵合對準機系統(tǒng) 1985年,隨著世界上di一個雙面對準系統(tǒng)的發(fā)明,EVG革新了MEMS技術,并通過分離對準和鍵合工藝在對準晶圓鍵合方面樹立了全球行業(yè)標準。這種分離導致晶圓鍵合設備具有更高的靈活性和通用性。EVG的鍵合對準系統(tǒng)提供了蕞/高的精度,靈活性和易用性以...
封裝技術對微機電系統(tǒng) (micro-electro-mechanical system,MEMS) 器件尺寸及功能的影響巨大,已成為 MEMS技術發(fā)展和實用化的關鍵技術[1]。實現(xiàn)封裝的技術手段很多,其中較關鍵的工藝步驟就是鍵合工藝。隨著 MEMS 技術的發(fā)展...
AVI600-S AVI 600-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI 600-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。 ...
TS-300結合了久經(jīng)考驗的技術特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計 TS-300的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40dB 缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多 TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性 ...
F3-sX 系列: F3-sX 系列能測量半導體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳 波長選配F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度,即使有許多肉眼看來不透光(例如半導體)。 F3-s980 是波...
F10-AR 無須處理涂層背面我們探頭設計能抑 制 1.5mm 厚基板 98% 的背面反射,使用更厚的鏡頭抑 制的更多。 就像我們所有的臺式儀器一樣,F(xiàn)10-AR 需要連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口上并在數(shù)分鐘內(nèi)即可完成設...
這使得可以在工業(yè)水平上開發(fā)新的設備或工藝,這不僅需要高度的靈活性,而且需要可控和可重復的處理。EVG在要求苛刻的應用中積累了多年的旋涂和噴涂經(jīng)驗,并將這些知識技能整合到EVG100系列中,可以利用我們的工藝知識為客戶提供支持。 光刻膠處理設備...
EVG?320自動化單晶圓清洗系統(tǒng) 用途:自動單晶片清洗系統(tǒng),可有效去除顆粒 EVG320自動化單晶圓清洗系統(tǒng)可在處理站之間自動處理晶圓和基板。機械手處理系統(tǒng)可確保在盒到盒或FOUP到FOUP操作中自動預對準和裝載晶圓。除了使用去離子水沖洗外,...
IQ Aligner?:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng) ■用于光學元件的微成型應用 ■用于全場納米壓印應用 ■三個**控制的Z軸,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),并在壓模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償 ■粘合對...
所有控制電路都內(nèi)置在該單元**耗小于2.5W。該設備具有通用輸入,可以連接到100至240 VAC的任何交流電源。優(yōu)化設計以實現(xiàn)對諸如掃描探針顯微鏡(AFM, STM),干涉儀和其他高 分辨率儀器,從而使這些儀器能夠達到**終的性能。事實證明,該表在支持靈...
EVG ? 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng) 具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng),從碎片到比較大150毫米。 該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包...
EVG?301技術數(shù)據(jù) 晶圓直徑(基板尺寸):200和100-300毫米 清潔系統(tǒng) 開室,旋轉器和清潔臂 腔室:由PP或PFA制成(可選) 清潔介質(zhì):去離子水(標準),其他清潔介質(zhì)(可選) 旋轉卡盤:真空卡盤(標準)和邊...
目前關于晶片鍵合的研究很多,工藝日漸成熟,但是對于表面帶有微結構的硅片鍵合研究很少,鍵合效果很差。 本文針對表面帶有微結構硅晶圓的封裝問題,提出一種基于采用 Ti / Au 作為金屬過渡層的硅—硅共晶鍵合的鍵合工藝,實現(xiàn)表面帶有微結構硅晶...
EVG ? 720自動SmartNIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng) 自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米,設有EVG's專有SmartNIL ?技術 EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術和材料專業(yè)知識,能夠大規(guī)模...
EVG501晶圓鍵合機,先進封裝,TSV,微流控加工。基本功能:用于學術和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng)。適用于:微流體芯片,半導體器件處理,MEMS制造,TSV制作,晶圓先進封裝等。 一、簡介: EVG501是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可...
TS-140 +40結合了久經(jīng)考驗的技術***性與優(yōu)雅且用戶友好的設計 TS-140 +40的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz后迅速增加至40db 缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多 TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的...
地板上沒有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù)。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度) 加上AVI產(chǎn)品開啟隔振功能后,加速度的數(shù)據(jù)。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度) Herz Low Frequency Sensor (LFS-3)...
EVG?301特征 使用1MHz的超音速噴嘴或區(qū)域傳感器(可選)進行高/效清潔 單面清潔刷(選件) 用于晶圓清洗的稀釋化學品 防止從背面到正面的交叉污染 完全由軟件控制的清潔過程 選件 帶有紅外檢查的預鍵合臺 ...