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半導(dǎo)體技術(shù)挑戰(zhàn)：除了精確度與均勻度的要求外，在量產(chǎn)時(shí)對(duì)于設(shè)備還有一項(xiàng)嚴(yán)苛的要求，那就是速度。因?yàn)闀r(shí)間就是金錢，在同樣的時(shí)間內(nèi)，如果能制造出較多的成品，成本自然下降，價(jià)格才有競爭力。另外質(zhì)量的穩(wěn)定性也非常重要，不只同一批產(chǎn)品的質(zhì)量要一樣，現(xiàn)在生產(chǎn)的IC與下星期、下個(gè)月生產(chǎn)的也要具有同樣的性能，因此質(zhì)量管控非常重要。通常量產(chǎn)工廠對(duì)于生產(chǎn)條件的管制，包括原料、設(shè)備條件、制程條件與環(huán)境條件等要求都非常嚴(yán)格，不容任意變更，為的就是保持質(zhì)量的穩(wěn)定度。半導(dǎo)體器件加工需要考慮器件的抗干擾和抗輻射的能力。廣州壓電半導(dǎo)體器件加工設(shè)計(jì)半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應(yīng)用、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域應(yīng)用...

物質(zhì)存在的形式多種多樣，固體、液體、氣體、等離子體等等。我們通常把導(dǎo)電性差的材料，如煤、人工晶體、琥珀、陶瓷等稱為絕緣體。而把導(dǎo)電性比較好的金屬如金、銀、銅、鐵、錫、鋁等稱為導(dǎo)體?？梢院唵蔚陌呀橛趯?dǎo)體和絕緣體之間的材料稱為半導(dǎo)體。與導(dǎo)體和絕緣體相比，半導(dǎo)體材料的發(fā)現(xiàn)是很晚的，直到20世紀(jì)30年代，當(dāng)材料的提純技術(shù)改進(jìn)以后，半導(dǎo)體的存在才真正被學(xué)術(shù)界認(rèn)可。半導(dǎo)體是指在常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可控，范圍從絕緣體到導(dǎo)體之間的材料。從科學(xué)技術(shù)和經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度 來看，半導(dǎo)體影響著人們的日常工作生活，直到20世紀(jì)30年代這一材料才被學(xué)術(shù)界所認(rèn)可。微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造...

刻蝕在半導(dǎo)體器件加工中的作用主要有以下幾個(gè)方面：納米結(jié)構(gòu)制備：刻蝕可以制備納米結(jié)構(gòu)，如納米線、納米孔等。納米結(jié)構(gòu)具有特殊的物理和化學(xué)性質(zhì)，可以應(yīng)用于傳感器、光學(xué)器件、能量存儲(chǔ)等領(lǐng)域。 表面處理：刻蝕可以改變材料表面的性質(zhì)，如增加表面粗糙度、改變表面能等。表面處理可以改善材料的附著性、潤濕性等性能，提高器件的性能。深刻蝕：刻蝕可以實(shí)現(xiàn)深刻蝕，即在材料表面形成深度較大的結(jié)構(gòu)。深刻蝕常用于制備微機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）器件、微流控芯片等。半導(dǎo)體器件加工需要考慮器件的集成度和功能的多樣性。北京新型半導(dǎo)體器件加工哪家有半導(dǎo)體器件加工是指將半導(dǎo)體材料加工成具有特定功能的器件的過程。它是半導(dǎo)體工業(yè)中非常重要的一...

半導(dǎo)體分類及性能：半導(dǎo)體是指在常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可控，范圍從絕緣體到導(dǎo)體之間的材料。元素半導(dǎo)體是指單一元素構(gòu)成的半導(dǎo)體，其中對(duì)硅、硒的研究比較早。它是由相同元素組成的具有半導(dǎo)體特性的固體材料，容易受到微量雜質(zhì)和外界條件的影響而發(fā)生變化。目前， 只有硅、鍺性能好，運(yùn)用的比較廣，硒在電子照明和光電領(lǐng)域中應(yīng)用。硅在半導(dǎo)體工業(yè)中運(yùn)用的多，這主要受到二氧化硅的影響，能夠在器件制作上形成掩膜，能夠提高半導(dǎo)體器件的穩(wěn)定性，利于自動(dòng)化工業(yè)生產(chǎn)。半導(dǎo)體器件加工中的工藝步驟需要經(jīng)過多次優(yōu)化和改進(jìn)。天津微流控半導(dǎo)體器件加工流程半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電...

半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應(yīng)用、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域應(yīng)用。半導(dǎo)體材料光生伏特的效應(yīng)是太陽能電池運(yùn)行的基本原理?，F(xiàn)階段半導(dǎo)體材料的光伏應(yīng)用已經(jīng)成為一大熱門 ，是目前世界上增長很快、發(fā)展很好的清潔能源市場。太陽能電池的主要制作材料是半導(dǎo)體材料，判斷太陽能電池的優(yōu)劣主要的標(biāo)準(zhǔn)是光電轉(zhuǎn)化率 ，光電轉(zhuǎn)化率越高 ，說明太陽能電池的工作效率越高。根據(jù)應(yīng)用的半導(dǎo)體材料的不同 ，太陽能電池分為晶體硅太陽能電池、薄膜電池以及III-V族化合物電池。表面硅MEMS加工工藝成熟，與IC工藝兼容性好。天津半導(dǎo)體器件加工廠商半導(dǎo)體器件加工未來發(fā)展方向主要包括以下幾個(gè)方面：三維集成：目前的半導(dǎo)體器...

半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應(yīng)用、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域應(yīng)用。照明應(yīng)用。LED是建立在半導(dǎo)體晶體管上的半導(dǎo)體發(fā)光二極管 ，采用LED技術(shù)半導(dǎo)體光源體積小，可以實(shí)現(xiàn)平面封裝，工作時(shí)發(fā)熱量低、節(jié)能高效，產(chǎn)品壽命長、反應(yīng)速度快，而且綠色環(huán)保無污染，還能開發(fā)成輕薄短小的產(chǎn)品 ，一經(jīng)問世 ，就迅速普及，成為新一代的品質(zhì)照明光源，目前已經(jīng)普遍的運(yùn)用在我們的生活中。如交通指示燈、電子產(chǎn)品的背光源、城市夜景美化光源、室內(nèi)照明等各個(gè)領(lǐng)域 ，都有應(yīng)用。在MEMS制程中，刻蝕就是用化學(xué)的、物理的或同時(shí)使用化學(xué)和物理的方法。黑龍江微透鏡半導(dǎo)體器件加工半導(dǎo)體器件有許多封裝型式，從DIP、SOP、Q...

半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)入納米時(shí)代后，除了水平方向尺寸的微縮造成對(duì)微影技術(shù)的嚴(yán)苛要求外，在垂直方向的要求也同樣地嚴(yán)格。一些薄膜的厚度都是1~2納米，而且在整片上的誤差小于5%。這相當(dāng)于在100個(gè)足球場的面積上要很均勻地鋪上一層約1公分厚的泥土，而且誤差要控制在0.05公分的范圍內(nèi)。蝕刻：另外一項(xiàng)重要的單元制程是蝕刻，這有點(diǎn)像是柏油路面的刨土機(jī)或鉆孔機(jī)，把不要的薄層部分去除或挖一個(gè)深洞。只是在半導(dǎo)體制程中，通常是用化學(xué)反應(yīng)加上高能的電漿，而不是用機(jī)械的方式。在未來的納米蝕刻技術(shù)中，有一項(xiàng)深度對(duì)寬度的比值需求是相當(dāng)于要挖一口100公尺的深井，挖完之后再用三種不同的材料填滿深井，可是每一層材料的厚度只有10層原...

半導(dǎo)體器件加工是指將半導(dǎo)體材料加工成具有特定功能的器件的過程。它是半導(dǎo)體工業(yè)中非常重要的一環(huán)，涉及到多個(gè)步驟和工藝。下面將詳細(xì)介紹半導(dǎo)體器件加工的步驟。蝕刻：蝕刻是將光刻圖案轉(zhuǎn)移到晶圓上的關(guān)鍵步驟。蝕刻是利用化學(xué)反應(yīng)將不需要的材料從晶圓表面去除的過程。常用的蝕刻方法包括濕蝕刻和干蝕刻。沉積：沉積是在晶圓表面上形成薄膜的過程。沉積可以通過物理的氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、濺射沉積等方法實(shí)現(xiàn)。沉積的薄膜可以用于形成導(dǎo)電層、絕緣層或金屬層等。半導(dǎo)體器件加工需要考慮器件的可靠性和穩(wěn)定性。北京化合物半導(dǎo)體器件加工步驟半導(dǎo)體器件有許多封裝型式，從DIP、SOP、QFP、PGA、BGA到CS...

半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應(yīng)用、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域應(yīng)用。照明應(yīng)用。LED是建立在半導(dǎo)體晶體管上的半導(dǎo)體發(fā)光二極管 ，采用LED技術(shù)半導(dǎo)體光源體積小，可以實(shí)現(xiàn)平面封裝，工作時(shí)發(fā)熱量低、節(jié)能高效，產(chǎn)品壽命長、反應(yīng)速度快，而且綠色環(huán)保無污染，還能開發(fā)成輕薄短小的產(chǎn)品 ，一經(jīng)問世 ，就迅速普及，成為新一代的品質(zhì)照明光源，目前已經(jīng)普遍的運(yùn)用在我們的生活中。如交通指示燈、電子產(chǎn)品的背光源、城市夜景美化光源、室內(nèi)照明等各個(gè)領(lǐng)域 ，都有應(yīng)用。半導(dǎo)體器件加工需要考慮器件的制造周期和交付時(shí)間的要求。河北半導(dǎo)體器件加工報(bào)價(jià)半導(dǎo)體器件加工是一個(gè)高度精密和復(fù)雜的過程，需要嚴(yán)格的控制和精確的操...

光刻技術(shù)在半導(dǎo)體器件加工中起著至關(guān)重要的作用。它可以實(shí)現(xiàn)圖案轉(zhuǎn)移、提高分辨率、制造多層結(jié)構(gòu)、控制器件性能、提高生產(chǎn)效率和降低成本。隨著半導(dǎo)體器件的不斷發(fā)展，光刻技術(shù)也在不斷創(chuàng)新和改進(jìn)，以滿足更高的制造要求?？涛g在半導(dǎo)體器件加工中起著至關(guān)重要的作用。它是一種通過化學(xué)或物理方法去除材料表面的工藝，用于制造微電子器件中的電路結(jié)構(gòu)、納米結(jié)構(gòu)和微細(xì)結(jié)構(gòu)?？涛g可以實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率的圖案轉(zhuǎn)移，從而實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件的功能。半導(dǎo)體器件加工中的材料選擇對(duì)器件性能有重要影響。江西新能源半導(dǎo)體器件加工刻蝕在半導(dǎo)體器件加工中的作用主要有以下幾個(gè)方面：1. 圖案轉(zhuǎn)移：刻蝕可以將光刻膠或光刻層上的圖案轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體材料表面...

半導(dǎo)體器件加工是一個(gè)高度精密和復(fù)雜的過程，需要嚴(yán)格的控制和精確的操作。光刻在半導(dǎo)體器件加工中的作用是什么？光刻技術(shù)在半導(dǎo)體器件加工中起著至關(guān)重要的作用。它是一種通過光照和化學(xué)反應(yīng)來制造微細(xì)結(jié)構(gòu)的方法。光刻技術(shù)的主要目的是將設(shè)計(jì)好的圖案轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體材料上，以形成所需的微細(xì)結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體器件加工中，光刻技術(shù)主要用于制造集成電路（IC）和平板顯示器（FPD）等微電子器件。下面將詳細(xì)介紹光刻技術(shù)在半導(dǎo)體器件加工中的作用。在MEMS制程中，刻蝕就是用化學(xué)的、物理的或同時(shí)使用化學(xué)和物理的方法。河北微流控半導(dǎo)體器件加工好處在MEMS制程中，刻蝕就是用化學(xué)的、物理的或同時(shí)使用化學(xué)和物理的方法，在光刻的基礎(chǔ)上有...

刻蝕是半導(dǎo)體制造工藝以及微納制造工藝中的重要步驟?？涛g狹義理解就是光刻腐蝕，先通過光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理，然后通過其它方式實(shí)現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分。刻蝕是用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程，其基本目標(biāo)是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩模圖形。隨著微制造工藝的發(fā)展，廣義上來講，刻蝕成了通過溶液、反應(yīng)離子或其它機(jī)械方式來剝離、去除材料的一種統(tǒng)稱，成為微加工制造的一種普適叫法。半導(dǎo)體器件加工需要考慮器件的可靠性和穩(wěn)定性。新能源半導(dǎo)體器件加工實(shí)驗(yàn)室刻蝕在半導(dǎo)體器件加工中的應(yīng)用非常普遍。例如，在集成電路制造中，刻蝕用于形成晶體管的柵極、源極和漏極等結(jié)構(gòu)；在光學(xué)器件制造中，刻蝕用...

半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)高、進(jìn)步快，一代產(chǎn)品需要一代工藝，而一代工藝需要一代設(shè)備。半導(dǎo)體工藝設(shè)備為半導(dǎo)體大規(guī)模制造提供制造基礎(chǔ)。很多半導(dǎo)體器件，如光碟機(jī)(CD、VCD和DVD)和光纖通信中用的半導(dǎo)體激光器，雷達(dá)或衛(wèi)星通信設(shè)備中的微波集成電路，甚至許多普通的微電子集成電路，都有相當(dāng)部分的制作工序是在真空容器中進(jìn)行的。真空程度越高，制作出來的半導(dǎo)體器件的性能也就越好?，F(xiàn)在，很多高性能的半導(dǎo)體器件都是在超高真空環(huán)境中制作出來的。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。半導(dǎo)體器件是導(dǎo)電性介于良導(dǎo)電體與絕緣體之間，利用半導(dǎo)體材料特殊電特性來完成特定功能的電子器件。北京化合物半導(dǎo)體器件加工工廠在MEMS制程中，刻蝕就是用化學(xué)的、...

射頻MEMS技術(shù)傳統(tǒng)上分為固定的和可動(dòng)的兩類。固定的MEMS器件包括本體微機(jī)械加工傳輸線、濾波器和耦合器，可動(dòng)的MEMS器件包括開關(guān)、調(diào)諧器和可變電容。按技術(shù)層面又分為由微機(jī)械開關(guān)、可變電容器和電感諧振器組成的基本器件層面；由移相器、濾波器和VCO等組成的組件層面；由單片接收機(jī)、變波束雷達(dá)、相控陣?yán)走_(dá)天線組成的應(yīng)用系統(tǒng)層面。MEMS工藝以成膜工序、光刻工序、蝕刻工序等常規(guī)半導(dǎo)體工藝流程為基礎(chǔ)。硅基MEMS加工技術(shù)主要包括體硅MEMS加工技術(shù)和表面MEMS加工技術(shù)。體硅MEMS加工技術(shù)的主要特點(diǎn)是對(duì)硅襯底材料的深刻蝕，可得到較大縱向尺寸可動(dòng)微結(jié)構(gòu)。表面MEMS加工技術(shù)主要通過在硅片上生長氧化硅、...

GaN材料系列具有低的熱產(chǎn)生率和高的擊穿電場，是研制高溫大功率電子器件和高頻微波器件的重要材料。目前，隨著MBE技術(shù)在GaN材料應(yīng)用中的進(jìn)展和關(guān)鍵薄膜生長技術(shù)的突破，成功地生長出了GaN多種異質(zhì)結(jié)構(gòu)。用GaN材料制備出了金屬場效應(yīng)晶體管（MESFET）、異質(zhì)結(jié)場效應(yīng)晶體管(HFET)、調(diào)制摻雜場效應(yīng)晶體管（MODFET）等新型器件。調(diào)制摻雜的AlGaN/GaN結(jié)構(gòu)具有高的電子遷移率(2000cm2/v·s)、高的飽和速度(1×107cm/s)、較低的介電常數(shù)，是制作微波器件的優(yōu)先材料；GaN較寬的禁帶寬度(3.4eV)及藍(lán)寶石等材料作襯底，散熱性能好，有利于器件在大功率條件下工作。晶圓制造是指...

半導(dǎo)體器件加工設(shè)備分類：單晶爐設(shè)備功能：熔融半導(dǎo)體材料，拉單晶，為后續(xù)半導(dǎo)體器件制造，提供單晶體的半導(dǎo)體晶坯。氣相外延爐設(shè)備功能：為氣相外延生長提供特定的工藝環(huán)境，實(shí)現(xiàn)在單晶上，生長與單晶晶相具有對(duì)應(yīng)關(guān)系的薄層晶體，為單晶沉底實(shí)現(xiàn)功能化做基礎(chǔ)準(zhǔn)備。氣相外延即化學(xué)氣相沉積的一種特殊工藝，其生長薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù)，而且與襯底的晶向保持對(duì)應(yīng)的關(guān)系。分子束外延系統(tǒng)：設(shè)備功能：分子束外延系統(tǒng)，提供在沉底表面按特定生長薄膜的工藝設(shè)備；分子束外延工藝，是一種制備單晶薄膜的技術(shù)，它是在適當(dāng)?shù)囊r底與合適的條件下，沿襯底材料晶軸方向逐層生長薄膜?？涛g技術(shù)不只是半導(dǎo)體器件和集成電路的基本制造工藝，而且還...

半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)，除需要超凈的環(huán)境外，有些工序還必須在真空中進(jìn)行。在我們生活的大氣環(huán)境中，充滿了大量的氮?dú)?、氧氣和其他各種氣體分子，這些氣體分子時(shí)時(shí)刻刻都在運(yùn)動(dòng)著。當(dāng)這些氣體分子運(yùn)動(dòng)到物體的表面時(shí)，就會(huì)有一部分黏附在該物體的表面。這在日常生活中，不會(huì)產(chǎn)生多大的影響。但在對(duì)周圍環(huán)境要求極高的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)工序中，這些細(xì)微的變化就會(huì)給生產(chǎn)帶來各種麻煩。每一半導(dǎo)體器件都包含著許多層各種各樣的材料，如果在這些不同的材料層之間混入氣體分子，就會(huì)破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能。比如，當(dāng)希望在晶體層上再生長一層晶體時(shí)(稱為外延），底層晶體表面吸附的氣體分子，會(huì)阻礙上面的原子按照晶格結(jié)構(gòu)進(jìn)行有序排列，結(jié)果在外延層...

表面硅MEMS加工技術(shù)是在集成電路平面工藝基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種MEMS工藝技術(shù)。它利用硅平面上不同材料的順序淀積和選擇腐蝕來形成各種微結(jié)構(gòu)。表面硅MEMS加工技術(shù)的基本思路是：先在基片上淀積一層稱為分離層的材料，然后在分離層上面淀積一層結(jié)構(gòu)層并加工成所需圖形。在結(jié)構(gòu)加工成型后，通過選擇腐蝕的方法將分離層腐蝕掉，使結(jié)構(gòu)材料懸空于基片之上，形成各種形狀的二維或三維結(jié)構(gòu)。表面硅MEMS加工工藝成熟，與IC工藝兼容性好，可以在單個(gè)直徑為幾十毫米的單晶硅基片上批量生成數(shù)百個(gè)MEMS裝置。芯片封裝后測試則是對(duì)封裝好的芯片進(jìn)行性能測試，以保證器件封裝后的質(zhì)量和性能。江蘇新型半導(dǎo)體器件加工平臺(tái)在MOS場效應(yīng)管...

二極管的主要原理就是利用PN結(jié)的單向?qū)щ娦裕赑N結(jié)上加上引線和封裝就成了一個(gè)二極管。晶體二極管為一個(gè)由P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體形成的PN結(jié)，在其界面處兩側(cè)形成空間電荷層，并建有自建電場。當(dāng)不存在外加電壓時(shí)，由于PN結(jié)兩邊載流子濃度差引起的擴(kuò)散電流和自建電場引起的漂移電流相等而處于電平衡狀態(tài)。當(dāng)外界有正向電壓偏置時(shí)，外界電場和自建電場的互相抑消作用使載流子的擴(kuò)散電流增加引起了正向電流。當(dāng)外界有反向電壓偏置時(shí)，外界電場和自建電場進(jìn)一步加強(qiáng)，形成在一定反向電壓范圍內(nèi)與反向偏置電壓值無關(guān)的反向飽和電流。當(dāng)外加的反向電壓高到一定程度時(shí)，PN結(jié)空間電荷層中的電場強(qiáng)度達(dá)到臨界值產(chǎn)生載流子的倍增過程，產(chǎn)生大量...

微機(jī)電系統(tǒng)也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)，是一個(gè)單獨(dú)的智能系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)**性的新技術(shù)，普遍應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項(xiàng)關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和**安全的關(guān)鍵技術(shù)。刻蝕技術(shù)不只是半導(dǎo)體器件和集成電路的基本...

用硅片制造晶片主要是制造晶圓上嵌入電子元件(如電晶體、電容、邏輯閘等)的電路，這是所需技術(shù)較復(fù)雜、投資較大的工藝。作為一個(gè)例子，單片機(jī)的加工工序多達(dá)幾百道，而且需要的加工設(shè)備也比較先進(jìn)，成本較高。盡管細(xì)節(jié)處理程序會(huì)隨著產(chǎn)品類型和使用技術(shù)的改變而發(fā)生變化，但是它的基本處理步驟通常是晶圓片首先進(jìn)行適當(dāng)?shù)那逑矗缓蠼?jīng)過氧化和沉淀處理，較后通過多次的微影、蝕刻和離子植入等步驟，較終完成了晶圓上電路的加工和制造?？涛g還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。半導(dǎo)體器件加工設(shè)備微機(jī)電系統(tǒng)是微電路和微機(jī)械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米級(jí)，自八十年代中后期崛起以來發(fā)展極其迅速，被認(rèn)為是繼微電子之后又一個(gè)對(duì)國...

刻蝕，英文為Etch，它是半導(dǎo)體制造工藝，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當(dāng)重要的步驟，是與光刻相聯(lián)系的圖形化處理的一種主要工藝。所謂刻蝕，實(shí)際上狹義理解就是光刻腐蝕，先通過光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理，然后通過其它方式實(shí)現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分?？涛g是用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程，其基本目標(biāo)是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩模圖形。隨著微制造工藝的發(fā)展，廣義上來講，刻蝕成了通過溶液、反應(yīng)離子或其它機(jī)械方式來剝離、去除材料的一種統(tǒng)稱，成為微加工制造的一種普適叫法。從硅圓片制成一個(gè)一個(gè)的半導(dǎo)體器件，按大工序可分為前道工藝和后道工藝。海南新型半導(dǎo)體器件加工流程半...

半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)高、進(jìn)步快，一代產(chǎn)品需要一代工藝，而一代工藝需要一代設(shè)備。半導(dǎo)體工藝設(shè)備為半導(dǎo)體大規(guī)模制造提供制造基礎(chǔ)。很多半導(dǎo)體器件，如光碟機(jī)(CD、VCD和DVD)和光纖通信中用的半導(dǎo)體激光器，雷達(dá)或衛(wèi)星通信設(shè)備中的微波集成電路，甚至許多普通的微電子集成電路，都有相當(dāng)部分的制作工序是在真空容器中進(jìn)行的。真空程度越高，制作出來的半導(dǎo)體器件的性能也就越好。現(xiàn)在，很多高性能的半導(dǎo)體器件都是在超高真空環(huán)境中制作出來的。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。清洗是晶圓加工制造過程中的重要一環(huán)。北京新型半導(dǎo)體器件加工批發(fā)價(jià)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝流程主要有4個(gè)部分，即晶圓制造、晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。晶圓制造是指...

光刻過程：首先，通過金屬化過程，在硅襯底上布置一層只數(shù)納米厚的金屬層。然后在這層金屬上覆上一層光刻膠。這層光阻劑在曝光（一般是紫外線）后可以被特定溶液（顯影液）溶解。使特定的光波穿過光掩膜照射在光刻膠上，可以對(duì)光刻膠進(jìn)行選擇性照射（曝光）。然后使用前面提到的顯影液，溶解掉被照射的區(qū)域，這樣，光掩模上的圖形就呈現(xiàn)在光刻膠上。通常還將通過烘干措施，改善剩余部分光刻膠的一些性質(zhì)。上述步驟完成后，就可以對(duì)襯底進(jìn)行選擇性的刻蝕或離子注入過程，未被溶解的光刻膠將保護(hù)襯底在這些過程中不被改變?？涛g或離子注入完成后，將進(jìn)行光刻的較后一步，即將光刻膠去除，以方便進(jìn)行半導(dǎo)體器件制造的其他步驟。通常，半導(dǎo)體器件制造...

濕化學(xué)蝕刻普遍應(yīng)用于制造半導(dǎo)體。在制造中，成膜和化學(xué)蝕刻的過程交替重復(fù)以產(chǎn)生非常小的鋁層。根據(jù)蝕刻層橫截面的幾何形狀，由于應(yīng)力局部作用在蝕刻層上構(gòu)造的層上，經(jīng)常出現(xiàn)裂紋。因此，通過蝕刻產(chǎn)生具有所需橫截面幾何形狀的鋁層是重要的驅(qū)動(dòng)環(huán)節(jié)之一。在濕化學(xué)蝕刻中，蝕刻劑通常被噴射到旋轉(zhuǎn)的晶片上，并且鋁層由于與蝕刻劑的化學(xué)反應(yīng)而被蝕刻。我們提出了一種觀察鋁層蝕刻截面的方法，并將其應(yīng)用于靜止蝕刻蝕刻的試件截面的觀察。觀察結(jié)果成功地闡明了蝕刻截面幾何形狀的時(shí)間變化，和抗蝕劑寬度對(duì)幾何形狀的影響，并對(duì)蝕刻過程進(jìn)行了數(shù)值模擬。驗(yàn)證了蝕刻截面的模擬幾何形狀與觀測結(jié)果一致，表明本數(shù)值模擬可以有效地預(yù)測蝕刻截面的幾何形...

刻蝕技術(shù)是在半導(dǎo)體工藝，按照掩模圖形或設(shè)計(jì)要求對(duì)半導(dǎo)體襯底表面或表面覆蓋薄膜進(jìn)行選擇性腐蝕或剝離的技術(shù)?？涛g技術(shù)不只是半導(dǎo)體器件和集成電路的基本制造工藝，而且還應(yīng)用于薄膜電路、印刷電路和其他微細(xì)圖形的加工?？涛g還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。普通的刻蝕過程大致如下：先在表面涂敷一層光致抗蝕劑，然后透過掩模對(duì)抗蝕劑層進(jìn)行選擇性曝光，由于抗蝕劑層的已曝光部分和未曝光部分在顯影液中溶解速度不同，經(jīng)過顯影后在襯底表面留下了抗蝕劑圖形，以此為掩模就可對(duì)襯底表面進(jìn)行選擇性腐蝕。如果襯底表面存在介質(zhì)或金屬層，則選擇腐蝕以后，圖形就轉(zhuǎn)移到介質(zhì)或金屬層上。半導(dǎo)體元器件的制備首先要有較基本的材料——硅晶圓。半導(dǎo)體器件...

MEMS加工技術(shù)：傳統(tǒng)機(jī)械加工方法指利用大機(jī)器制造小機(jī)器,再利用小機(jī)器制造微機(jī)器?？梢杂糜诩庸ひ恍┰谔厥鈭龊蠎?yīng)用的微機(jī)械裝置,例如微型機(jī)械手、微型工作臺(tái)等。特種微細(xì)加工技術(shù)是通過加工能量的直接作用，實(shí)現(xiàn)小至逐個(gè)分子或原子的切削加工。特種加工是利用電能、熱能、光能、聲能及化學(xué)能等能量形式。常用的加工方法有：電火花加工、超聲波加工、電子束加工、激光加工、離子束加工和電解加工等。超精密機(jī)械加工和特種微細(xì)加工技術(shù)的加工精度已達(dá)微米、亞微米級(jí)，可以批量制作模數(shù)只為0.02左右的齒輪等微機(jī)械元件，以及其它加工方法無法制造的復(fù)雜微結(jié)構(gòu)器件。微機(jī)電系統(tǒng)也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至...

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以8英寸和12英寸為主。晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時(shí)加工1片或多片晶圓。隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來越小，加工及測量設(shè)備越來越先進(jìn)，使得晶圓加工出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)。同時(shí)，特征尺寸的減小，使得晶圓加工時(shí)，空氣中的顆粒數(shù)對(duì)晶圓加工后質(zhì)量及可靠性的影響增大，而隨著潔凈的提高，顆粒數(shù)也出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)。芯片封裝后測試則是對(duì)封裝好的芯片進(jìn)行性能測試，以保證器件封裝后的質(zhì)量和性能。天津新結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體器件加...

單晶硅是從大自然豐富的硅原料中提純制造出多晶硅，再通過區(qū)熔或直拉法生產(chǎn)出區(qū)熔單晶或直拉單晶硅，進(jìn)一步形成硅片、拋光片、外延片等。直拉法生長出的單晶硅，用在生產(chǎn)低功率的集成電路元件。而區(qū)熔法生長出的單晶硅則主要用在高功率的電子元件。直拉法加工工藝：加料→熔化→縮頸生長→放肩生長→等徑生長→尾部生長，長完的晶棒被升至上爐室冷卻一段時(shí)間后取出，即完成一次生長周期。懸浮區(qū)熔法加工工藝：先從上、下兩軸用夾具精確地垂直固定棒狀多晶錠。用電子轟擊、高頻感應(yīng)或光學(xué)聚焦法將一段區(qū)域熔化，使液體靠表面張力支持而不墜落。移動(dòng)樣品或加熱器使熔區(qū)移動(dòng)。這種方法不用坩堝，能避免坩堝污染，因而可以制備很純的單晶，也可采用此...

微機(jī)電系統(tǒng)也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)，是一個(gè)單獨(dú)的智能系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)**性的新技術(shù)，普遍應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項(xiàng)關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和**安全的關(guān)鍵技術(shù)。晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其...