UV納米壓印光刻系統(tǒng) EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT:具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng) ■高精度對準臺 ■自動楔形誤差補償機制 ■電動和程序控制的曝光間隙 ■支持***的UV-LED技術 ...
Herz 防震臺/防振臺是世界上****的防震臺/防振臺系統(tǒng)方案供應商之一。 在納米技術的時代,極之微細的振動已對搜索結果造成極大的影響,必須改善測量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的極大效能,達到比較好成果。 Nanotechnology正在改變,由高層次的研究波及各個行...
HERCULES 光刻軌道系統(tǒng) 所述HERCULES ?是一個高容量的平臺整合整個光刻工藝流在一個系統(tǒng)中,縮小處理工序和操作者支持。 HERCULES基于模塊化平臺,將EVG建立的光學掩模對準技術與集成的晶圓清洗,光刻膠涂層,烘烤和光刻...
滿足您需求的輪廓儀 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強, 使用無損 可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便 智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù) 個性化: ...
F40 系列 包含的內容:集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件FILMeasure **軟件 (用于遠程數(shù)據(jù)分析)MA-Cmount 安裝轉接器 顯微鏡轉接器光纖連接線BK7 參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度標準...
其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間,測量精度高達1埃,測量穩(wěn)定性高達,測量時間只需一到二秒,并有手動及自動機型可選。可應用領域包括:生物醫(yī)學(Biomedical),液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼...
Total Thickness Variation (TTV) 應用 規(guī)格: 測量方式: 紅外干涉(非接觸式) 樣本尺寸: 50、75、100、200、300 mm, 也可以訂做客戶需要的產(chǎn)品尺寸...
EVG?520IS晶圓鍵合機系統(tǒng): 單腔或雙腔晶圓鍵合系統(tǒng),用于小批量生產(chǎn)。 EVG520IS單腔單元可半自動操作蕞大200mm的晶圓,適用于小批量生產(chǎn)應用。EVG520IS根據(jù)客戶反饋和EVGroup的持續(xù)技術創(chuàng)新進行了重新設計,具有EVGr...
5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下,使模塊從一側到另一側(而不是從前到后)橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側,不要碰到腿的側壁。如果您安裝的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,則每個隔離模塊的寬度為7.5英寸...
EVG也提供量產(chǎn)型掩模對準系統(tǒng)。對于在微米范圍內的光刻圖形,掩模對準器是**/具成本效益的技術,與其他解決方案相比,每層可節(jié)省30%以上的成本,這對用戶來說是至關重要的。EVG的大批量制造系統(tǒng)旨在以**/佳的成本效率與**/高的技術標準相結合,并由卓/越的全球服務基...
ComBond自動化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng),高真空晶圓鍵合平臺促進“任何物上的任何東西”的共價鍵合特色技術數(shù)據(jù),EVGComBond高真空晶圓鍵合平臺標志著EVG獨特的晶圓鍵合設備和技術產(chǎn)品組合中的一個新里程碑,可滿足市場對更復雜的集成工藝的需求ComBond支...
EVG?850LT 特征 利用EVG的LowTemp?等離子基活技術進行SOI和直接晶圓鍵合 適用于各種熔融/分子晶圓鍵合應用 生產(chǎn)系統(tǒng)可在高通量,高產(chǎn)量環(huán)境中運行 盒到盒的自動操作(錯誤加載,SMIF或FOUP) 無污...
FSM 8018 VITE測試系列設備 VITE技術介紹: VITE是傅里葉頻域技術,利用近紅外光源的相位剪切技術(Phase shear technology) 設備介紹 適用于所有可讓近紅外線通過的材料:硅、藍寶石、砷化鎵、磷化...
EVG ? 720自動SmartNIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng) 自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米,設有EVG's專有SmartNIL ?技術 EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術和材料專業(yè)知識,能夠大規(guī)模...
AVI單元和傳感器的方向 隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝,這一點很重要取向!LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI的開關輸出以任意4個矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允許其他方向。 為確保連接正確,請按...
Ziptronix Inc. 與 EV Group(簡稱“EVG ”)***宣布已成功地在客戶提供的300毫米DRAM晶圓實現(xiàn)亞微米鍵合后對準精度。方法是在 EVG Gemini FB 產(chǎn)品融合鍵合機和 SmartView NT 鍵合對準機上采用 Zipt...
軟件升級提供專門用途的軟件。UPG-RT-to-Thickness升級的厚度求解軟件,需要UPG-Spec-to-RT。UPG-Thickness-to-n&k升級的折射率求解軟件,需要UPG-RT-to-Thickness。UPG-F10-AR-...
TS-C TS-C系列是緊湊的動態(tài)防振系統(tǒng),可隔離所有六個平移和旋轉振動模式。 這些價格適中的動態(tài)振動隔離系統(tǒng)在體積上卻比比較大,**昂貴的無源系統(tǒng)更好地實現(xiàn)了隔離。使用壓電力馬達的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動,還可以隔離放置在系統(tǒng)本身上的振...
該技術用于封裝敏感的電子組件,以保護它們免受損壞,污染,濕氣和氧化或其他不良化學反應。陽極鍵合尤其與微機電系統(tǒng)(MEMS)行業(yè)相關聯(lián),在該行業(yè)中,陽極鍵合用于保護諸如微傳感器的設備。陽極鍵合的主要優(yōu)點是,它可以產(chǎn)生牢固而持久的鍵合,而無需粘合劑或過高的溫度...
F50 系列自動化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤,樣品直徑可達450毫米。(耐用的平臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!) 測繪圖案...
FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng) FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號360 FSM拉曼的應用 l 局部應力; l 局部化學成分 l 局部損傷 紫外光可測試的深度 ***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚...
HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設備和應用程序的生產(chǎn),包括用于增強/虛擬現(xiàn)實(AR / VR)頭戴式耳機的光學設備,3D傳感器,生物醫(yī)學設備...
其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間,測量精度高達1埃,測量穩(wěn)定性高達,測量時間只需一到二秒,并有手動及自動機型可選??蓱妙I域包括:生物醫(yī)學(Biomedical),液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼...
關于WaveOptics WaveOptics是衍射波導的全球**設計商和制造商,衍射波導是可穿戴AR設備中的關鍵光學組件。 諸如智能眼鏡之類的AR可穿戴設備使用戶能夠觀看覆蓋在現(xiàn)實世界之上的數(shù)字圖像。有...
其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間,測量精度高達1埃,測量穩(wěn)定性高達,測量時間只需一到二秒,并有手動及自動機型可選??蓱妙I域包括:生物醫(yī)學(Biomedical),液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼...
EVG?850DB自動解鍵合機系統(tǒng) 全自動解鍵合,清潔和卸載薄晶圓 特色 技術數(shù)據(jù) 在全自動解鍵合機中,經(jīng)過處理的臨時鍵合晶圓疊層被分離和清洗,而易碎的設備晶圓始終在整個工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光,熱剝離和機械剝離。使用所有解鍵合方法,都可以通...
AVI400-M AVI 400-M的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。 ...
”EV集團的技術研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說,“通過與供應鏈的關鍵企業(yè)的合作,例如DELO,我們能夠進一步提高效率,作為與工藝和設備**們一同研究并建立關鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?!薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學儀器與NIL設...
輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊,請點擊這里).獲取反射光譜...
F30包含的內容:集成光譜儀/光源裝置光斑尺寸10微米的單點測量平臺FILMeasure 8反射率測量軟件Si 參考材料FILMeasure **軟件 (用于遠程數(shù)據(jù)分析) 額外的好處:每臺系統(tǒng)內建超過130種材料庫, 隨著不同應用更超過數(shù)百種應用工...