工控機如何實現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓傳輸?shù)姆牢⒄窨刂疲?/h1>

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杭州研圖智能科技有限公司2025-08-21

主動減震平臺搭載壓電陶瓷促動器，工控機通過振動傳感器反饋生成反相波形。空氣彈簧與電磁阻尼協(xié)同工作，將地面振動衰減至0.1μm@10Hz以下。配合ISO Class 3潔凈環(huán)境，保障12英寸晶圓傳輸過程粒子附著數(shù)＜3顆/片。

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簡介：杭州研圖智能科技有限公司作為國家高新技術(shù)企業(yè)，專注于工控產(chǎn)品的開發(fā)與定制，提供智能化服務(wù)和集成方案。

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