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晶圓超聲掃描檢測前，對水質(zhì)有哪些要求？

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-09-13

檢測用水需為干凈去離子水，電阻率應(yīng)≥1MΩ·cm，以減少水中雜質(zhì)對超聲波信號的干擾；水質(zhì)需定期檢測（如每周一次），避免因離子濃度升高導(dǎo)致檢測結(jié)果偏差。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

簡介：杭州芯紀(jì)源成立于 2024 年，融合聲、光及 AI 算法，專注半導(dǎo)體檢測設(shè)備研發(fā)制造，提供超聲檢測。

簡介：杭州芯紀(jì)源成立于 2024 年，融合聲、光及 AI 算法，專注半導(dǎo)體檢測設(shè)備研發(fā)制造，提供超聲檢測。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-09-16

去離子水需滿足以下條件：pH值6.5-7.5（中性環(huán)境避免腐蝕晶圓）、溶解氧含量<1ppm（防止氣泡產(chǎn)生）、微生物含量<10CFU/mL（避免生物污染）；水質(zhì)更換周期需根據(jù)使用頻率調(diào)整（如每日檢測需每8小時更換一次）。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-09-19

水質(zhì)管理關(guān)鍵點(diǎn)包括：使用專門儲水罐（避免交叉污染）、安裝在線過濾系統(tǒng)（實(shí)時去除顆粒物）、定期清洗水槽（防止藻類生長）；若檢測高精度晶圓（如12英寸），需采用超純水（電阻率≥18MΩ·cm）。

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