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        半導(dǎo)體制造中,氧化退火爐的溫度控制精度為何如此重要?

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        賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司2025-06-17

        溫度偏差會(huì)導(dǎo)致?lián)诫s離子激的活率不一致,影響晶體管閾值電壓(Vth)一致性,甚至造成 PN 結(jié)漏電。例如,離子注入后退火溫度每偏差 5℃,器件漏電流可能波動(dòng) 10% 以上。

        賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司
        賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司
        簡(jiǎn)介:賽瑞達(dá)成立于2021年,專注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司位于無(wú)錫,致力于提供定制化解決方案。
        簡(jiǎn)介: 賽瑞達(dá)成立于2021年,專注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司位于無(wú)錫,致力于提供定制化解決方案。
        賽瑞達(dá)致力于成為半導(dǎo)體裝備的主導(dǎo)品牌。
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