唯恒塬環(huán)保科技（蘇州）有限公司2025-09-16

碳?xì)湔婵涨逑礄C(jī)清洗半導(dǎo)體封裝用金屬引線(xiàn)框架（如銅合金、鐵鎳合金框架），需滿(mǎn)足 “無(wú)殘留、無(wú)腐蝕、無(wú)劃傷” 的半導(dǎo)體級(jí)要求，通過(guò) “超純清洗 + 精密控制” 實(shí)現(xiàn)。首先，清洗劑選擇主要，使用半導(dǎo)體級(jí)超純碳?xì)淝逑磩兌取?9.999%），金屬離子（Na、K、Fe、Cu）含量≤0.01ppb，顆粒含量（粒徑≥0.1μm）≤1 個(gè) /mL，通過(guò) SEMI C12 認(rèn)證，避免金屬離子、顆粒污染半導(dǎo)體芯片；清洗劑需經(jīng) 0.01μm 超精密過(guò)濾，確保無(wú)雜質(zhì)。其次，清洗工藝準(zhǔn)確設(shè)計(jì)，針對(duì)引線(xiàn)框架的引腳間隙（通常 0.1-0.3mm），采用 “高頻超聲波 + 真空滲透” 組合：超聲波頻率 100-120kHz，功率每升清洗液 10-15W，高頻振動(dòng)能深入引腳間隙，去除助焊劑殘留、沖壓油，且避免引腳變形；清洗溫度控制在 35-40℃，低于引線(xiàn)框架鍍層（如鍍金、鍍銀）的耐熱溫度，防止鍍層變色；清洗時(shí)間 6-8 分鐘，采用 “真空 - 破真空” 循環(huán) 2 次（每次抽真空至 - 0.095MPa），促進(jìn)清洗劑滲透，帶出間隙內(nèi)污染物。再者，漂洗與干燥強(qiáng)化，漂洗采用 “三次超純清洗”：前兩次使用回收純化后的清洗劑，第三次使用全新清洗劑，每次漂洗 3 分鐘，確保無(wú)殘留；真空干燥階段，通入超純氮?dú)猓兌取?9.9999%），溫度 50℃，真空度 - 0.098MPa，干燥時(shí)間 12 分鐘，氮?dú)饽芊乐挂€(xiàn)框架氧化，同時(shí)加速清洗劑揮發(fā)。清洗后檢測(cè)采用半導(dǎo)體行業(yè)使用設(shè)備：激光顆粒計(jì)數(shù)器檢測(cè)表面顆粒（≤0.1μm 顆粒≤1 個(gè) /cm2），X 射線(xiàn)熒光光譜儀檢測(cè)金屬離子（≤0.01ppb），確保符合 SEMI C17 標(biāo)準(zhǔn)，滿(mǎn)足半導(dǎo)體封裝對(duì)引線(xiàn)框架的高潔凈度要求。

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