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晶圓鍵合缺陷檢測中，如何選擇合適的超聲探頭頻率？

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-09-13

探頭頻率選擇需綜合考慮材料密度與內(nèi)部結(jié)構(gòu)：低頻探頭（如5MHz）適用于檢測厚晶圓或低密度材料（如銅鋁鍵合），可提升穿透力；高頻探頭（如100MHz以上）用于高分辨率檢測（如硅-硅鍵合），能識別微米級空洞。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

簡介：杭州芯紀(jì)源成立于 2024 年，融合聲、光及 AI 算法，專注半導(dǎo)體檢測設(shè)備研發(fā)制造，提供超聲檢測。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-09-16

對于晶圓鍵合界面檢測，若材料聲阻抗差異大（如硅-玻璃鍵合），需選用中頻探頭（20-50MHz）平衡穿透力與分辨率；若檢測多層結(jié)構(gòu)（如2.5D/3D封裝），需采用可調(diào)頻探頭以適應(yīng)不同深度缺陷。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-09-17

實(shí)際檢測中，需根據(jù)晶圓厚度與缺陷類型調(diào)整頻率：薄晶圓（<200μm）適用高頻探頭（>150MHz）以避免信號衰減；厚晶圓（>500μm）則需低頻探頭（<10MHz）確保穿透力；復(fù)合材料鍵合需多頻段探頭組合檢測。

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