主營(yíng)產(chǎn)品: 立式氧化爐|臥式擴(kuò)散氧化退火爐|臥式LPCVD|立式LPCVD
管式爐在半導(dǎo)體材料的氧化工藝中扮演著關(guān)鍵角色。在高溫環(huán)境下，將硅片放置于管式爐內(nèi)，通入高純度的氧氣或水蒸氣等氧化劑。硅片表面的硅原子與氧化劑...
氣氛控制在半導(dǎo)體管式爐應(yīng)用中至關(guān)重要。不同的半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)與工藝需要特定氣氛環(huán)境，以防止氧化或引入雜質(zhì)。管式爐支持多種氣體的精確配比與流量控...
管式爐工藝后的清洗需針對(duì)性去除特定污染物：①氧化后清洗使用HF溶液（1%濃度）去除表面殘留的SiO?顆粒；②擴(kuò)散后清洗采用熱磷酸（H?PO?...
管式爐在半導(dǎo)體芯片的背面金屬化工藝中扮演重要角色。芯片背面金屬化是為了實(shí)現(xiàn)芯片與外部電路的良好電氣連接和機(jī)械固定。將芯片放置在管式爐內(nèi)的特定...
賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司于2021年9月由原青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司重組，引入新的投資而改制設(shè)立的。公司位于無錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，注冊(cè)資本6521.74萬元，是一家專注于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備和光伏電池設(shè)備的裝備制造企業(yè)。 公司主要產(chǎn)品有：半導(dǎo)體工藝設(shè)備、硅基集成電路和器件工藝設(shè)備、LED工藝設(shè)備、碳化硅、氮化鎵工藝設(shè)備、納米、磁性材料工藝設(shè)備、航空航天工藝設(shè)備等。并可根據(jù)用戶需求提供定制化的設(shè)備和工藝解決方案。公司秉承“助產(chǎn)業(yè)發(fā)展，創(chuàng)美好未來”的使命，專精于半導(dǎo)體智能裝備的研發(fā)制造，致力于成為半導(dǎo)體裝備的重要品牌。“質(zhì)量、誠(chéng)信、創(chuàng)新、服務(wù)、共贏”是我們的重要價(jià)值觀，我們將始終堅(jiān)持“質(zhì)量是企業(yè)的生命，誠(chéng)信是立足的根本，服務(wù)是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是賽瑞達(dá)永恒的追求”的經(jīng)營(yíng)理念，持續(xù)經(jīng)營(yíng)，為廣大客戶創(chuàng)造價(jià)值，和員工共同發(fā)展。
