MEMS制作工藝柔性電子的常用材料-PI: 柔性PI膜是一種由聚酰亞胺(PI)構(gòu)成的薄膜材料,它是通過將均苯四甲酸二酐(PMDA)與二胺基二苯醚(ODA)在強極性溶劑中進行縮聚反應(yīng),然后流延成膜,然后經(jīng)過亞胺化處理得到的高分子絕緣材料。柔性PI膜擁有...
玻璃與硅片微流道精密加工:深圳市勃望初芯半導(dǎo)體科技有限公司依托深硅反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)技術(shù),實現(xiàn)玻璃與硅片基材的高精度微流道加工。針對玻璃芯片,通過光刻掩膜與氫氟酸濕法刻蝕工藝,可制備深寬比達10:1、表面粗糙度低于50nm的微通道網(wǎng)絡(luò),適用于高通量單細胞...
MEMS發(fā)展的目標(biāo)在于,通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng),開辟一個新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。MEMS可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中,把自動化、智能化和可靠性水平提高到一個新的水平。21世紀(jì)MEMS將逐步從實驗室走向?qū)嵱没?..
在腦科學(xué)與精細醫(yī)療領(lǐng)域,公司開發(fā)的MEA柔性電極采用超薄MEMS工藝,兼具物相容性與高導(dǎo)電性,可定制化設(shè)計“觸凸”電極陣列,***降低植入式腦機接口的手術(shù)創(chuàng)傷,同時提升神經(jīng)信號采集的信噪比。針對藥物遞送與檢測需求,通過干濕結(jié)合刻蝕技術(shù)制備的微針器件,既可實現(xiàn)組...
多指標(biāo)高通量數(shù)字ELISA芯片的臨床應(yīng)用:芯棄疾多指標(biāo)數(shù)字ELISA芯片采用空間編碼技術(shù),單個芯片集成8個**檢測通道,每個通道可同時檢測2-8個靶標(biāo),支持多重蛋白標(biāo)志物的并行分析。例如,在***性疾病診斷中,IL-6(靈敏度1pg/mL)與PCT(靈敏度10...
芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA,每個生物/醫(yī)學(xué)實驗室都用得起的單分子免疫檢測; 單分子的檢測原理:由Simoa數(shù)字免疫分析法實現(xiàn)的超靈敏度已在先前討論過。簡而言之,類似免疫分析中的酶-底物反應(yīng)是在相對較大的反應(yīng)體積(50-100μL)中進行的,在信號生成步驟中...
MEMS四種刻蝕工藝的不同需求: 絕緣層上的硅蝕刻即SOI器件刻蝕:先進的微機電組件包含精細的可移動性零組件,例如應(yīng)用于加速計、陀螺儀、偏斜透鏡(tiltingmirrors).共振器(resonators)、閥門、泵、及渦輪葉片等組件的懸臂梁。這些...
MEA柔性電極:MEMS工藝開發(fā)的MEA(微電極陣列)柔性電極,是腦機接口(BCI)與類***電生理研究的**技術(shù)載體。該電極采用超薄柔性基底材料(如聚酰亞胺或PDMS),厚度可精細控制在10-50微米范圍內(nèi),表面通過光刻與金屬沉積工藝集成高密度“觸凸”式微電...
超聲影像芯片的全集成MEMS設(shè)計與性能突破:針對超聲PZT換能器及CMUT/PMUT新型傳感器的收發(fā)需求,公司開發(fā)了**SoC超聲收發(fā)芯片,采用0.18mm高壓SOI工藝實現(xiàn)發(fā)射與開關(guān)復(fù)用,大幅節(jié)省芯片面積的同時提升性能。在發(fā)射端,通過MEMS高壓驅(qū)動電路設(shè)計...
神經(jīng)電子芯片的MEMS微納加工技術(shù)與臨床應(yīng)用:神經(jīng)電子芯片作為植入式醫(yī)療設(shè)備的**組件,對微型化、生物相容性及功能集成度提出了極高要求。公司依托0.35/0.18μm高壓工藝,成功開發(fā)多通道神經(jīng)電刺激SoC芯片,可實現(xiàn)無線充電與通訊功能,將控制信號轉(zhuǎn)化為精細電...
在腦科學(xué)與精細醫(yī)療領(lǐng)域,公司開發(fā)的MEA柔性電極采用超薄MEMS工藝,兼具物相容性與高導(dǎo)電性,可定制化設(shè)計“觸凸”電極陣列,***降低植入式腦機接口的手術(shù)創(chuàng)傷,同時提升神經(jīng)信號采集的信噪比。針對藥物遞送與檢測需求,通過干濕結(jié)合刻蝕技術(shù)制備的微針器件,既可實現(xiàn)組...
MEMS四種刻蝕工藝的不同需求: 1.體硅刻蝕:一些塊體蝕刻些微機電組件制造過程中需要蝕刻挖除較大量的Si基材,如壓力傳感器即為一例,即通過蝕刻硅襯底背面形成深的孔洞,但未蝕穿正面,在正面形成一層薄膜。還有其他組件需蝕穿晶圓,不是完全蝕透晶背而是直到...
超薄石英玻璃雙面套刻加工技術(shù)解析:在厚度100μm以上的超薄石英玻璃基板上進行雙面套刻加工,是實現(xiàn)高集成度微流控芯片與光學(xué)器件的關(guān)鍵技術(shù)。公司采用激光微加工與紫外光刻結(jié)合工藝,首先通過CO?激光切割實現(xiàn)玻璃基板的高精度成型(邊緣誤差<±5μm),然后利用雙面光...
基于MEMS技術(shù)的SAW器件: 聲表面波(SAW)傳感器是近年來發(fā)展起來的一種新型微聲傳感器,是種用聲表面波器件作為傳感元件,將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來,并轉(zhuǎn)換成電信號輸出的傳感器。聲表面波傳感器能夠精確測量物...
智能手機迎5G換機潮,傳感器及RFMEMS用量逐年提升。一方面,5G加速滲透,拉動智能手機市場恢復(fù)增長:今年10月份國內(nèi)5G手機出貨量占比已達64%;智能手機整體出貨量方面,在5G的帶動下,根據(jù)IDC今年的預(yù)測,2021年智能手機出貨量相比2020年將增長11...
MEMS制作工藝-太赫茲傳感器: 超材料(Metamaterial)是一種由周期性亞波長金屬諧振的單元陣列組成的人工復(fù)合型電磁材料,通過合理的設(shè)計單元結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)特殊的電磁特性,主要包括隱身、完美吸和負折射等特性。目前,隨著太赫茲技術(shù)的快速發(fā)展,太赫茲...
MEMS傳感器的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些? 運動追蹤在運動員的日常訓(xùn)練中,MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量,通過基于聲學(xué)TOF,或者基于光學(xué)的TOF技術(shù),對每一個動作進行記錄,教練們對結(jié)果分析,反復(fù)比較,以便提高運動員的成績。隨著MEMS技術(shù)的進...
芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA 具有超敏的優(yōu)點: 檢測方法為陣列成像。陣列成像涉及對陣列中的每個孔進行檢測以確定是否存在微球并判斷微球是否具有酶活性。為此,開發(fā)了一種圖像分析軟件,該軟件首先創(chuàng)建一個陣列的“掩?!保远x孔定位和邊界進行檢測。然后將孔掩模應(yīng)用...
基于MEMS技術(shù)的SAW器件: 聲表面波(SAW)傳感器是近年來發(fā)展起來的一種新型微聲傳感器,是種用聲表面波器件作為傳感元件,將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來,并轉(zhuǎn)換成電信號輸出的傳感器。聲表面波傳感器能夠精確測量物...
MEMS制作工藝-太赫茲超材料器件應(yīng)用前景: 在通信系統(tǒng)、雷達屏蔽、空間勘測等領(lǐng)域都有著重要的應(yīng)用前景,近年來受到學(xué)術(shù)界的關(guān)注?;谖⒚准{米技術(shù)設(shè)計的周期微納超材料能夠在太赫茲波段表現(xiàn)出優(yōu)異的敏感特性,特別是可與石墨烯二維材料集成設(shè)計,獲得更優(yōu)的頻譜...
自動化檢測與數(shù)據(jù)算法的深度融合:芯棄疾芯片搭載四參數(shù)Logistic曲線擬合(方程:y=(A-D)/[1+(x/C)^B]+D)與二次回歸算法(y=a+bx+cx2),確保熒光信號與濃度的高度線性關(guān)聯(lián)(r2≥0.999)。以IL-6檢測為例,自動版設(shè)備通過AI...
芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA產(chǎn)品 單分子POCT產(chǎn)品-數(shù)字化ELISA芯片,幫您數(shù)字化高靈敏檢測,且微量樣本多重指標(biāo)檢 數(shù)字化高靈敏ELISA芯片,低成本、便捷、快速進行微量樣本的檢測;我公司推出的數(shù)字化高靈敏ELISA芯片,可進行低成本、便...
在MEMS微納加工領(lǐng)域,公司通過“材料創(chuàng)新+工藝突破”雙輪驅(qū)動,為醫(yī)療健康、生物傳感等場景提供高精度、定制化的微納器件解決方案。公司依托逾700平米的6英寸MEMS產(chǎn)線,可加工玻璃、硅片、PDMS、硬質(zhì)塑料等多種基材的微納結(jié)構(gòu),覆蓋從納米級(0.5-5μm)到...
芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA 具有超敏的優(yōu)點: 檢測方法為陣列成像。陣列成像涉及對陣列中的每個孔進行檢測以確定是否存在微球并判斷微球是否具有酶活性。為此,開發(fā)了一種圖像分析軟件,該軟件首先創(chuàng)建一個陣列的“掩?!保远x孔定位和邊界進行檢測。然后將孔掩模應(yīng)用...
芯棄疾JX-8B數(shù)字化高靈敏ELISA芯片檢測產(chǎn)品;具有以下特點:多重、超敏微量、極速靈活、開放; 我們?nèi)绾巫龅??單分子技術(shù)的小型化、POCT化?二維有序的陣列化:全球唯二技術(shù)路線;我們使用simoa同樣的單分散單分子陣列檢測方案,創(chuàng)新性芯片改進,使...
MEMS四種刻蝕工藝的不同需求: 絕緣層上的硅蝕刻即SOI器件刻蝕:先進的微機電組件包含精細的可移動性零組件,例如應(yīng)用于加速計、陀螺儀、偏斜透鏡(tiltingmirrors).共振器(resonators)、閥門、泵、及渦輪葉片等組件的懸臂梁。這些...
MEMS制作工藝柔性電子的常用材料: 碳納米管(CNT)由于其高的本征載流子遷移率,導(dǎo)電性和機械靈活性而成為用于柔性電子學(xué)的有前途的材料,既作為場效應(yīng)晶體管(FET)中的溝道材料又作為透明電極。管狀碳基納米結(jié)構(gòu)可以被設(shè)想成石墨烯卷成一個無縫的圓柱體,...
超聲影像芯片的全集成MEMS設(shè)計與性能突破:針對超聲PZT換能器及CMUT/PMUT新型傳感器的收發(fā)需求,公司開發(fā)了**SoC超聲收發(fā)芯片,采用0.18mm高壓SOI工藝實現(xiàn)發(fā)射與開關(guān)復(fù)用,大幅節(jié)省芯片面積的同時提升性能。在發(fā)射端,通過MEMS高壓驅(qū)動電路設(shè)計...
MEMS發(fā)展的目標(biāo)在于,通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng),開辟一個新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。MEMS可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中,把自動化、智能化和可靠性水平提高到一個新的水平。21世紀(jì)MEMS將逐步從實驗室走向?qū)嵱没?..
超多重檢測的臨床數(shù)據(jù)價值:標(biāo)記物組合的精細篩選,超多重檢測芯片通過21項指標(biāo)的同步檢測,為疾病診斷提供了多維數(shù)據(jù)支持。在肺*普查中,同時分析29種標(biāo)記物的表達模式,可構(gòu)建特異性>80%的三聯(lián)檢測模型(如CEA+SA+CA242),較單一指標(biāo)檢測準(zhǔn)確率提升40%...