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        濟南厚膜光刻膠供應(yīng)商 歡迎咨詢 吉田半導(dǎo)體供應(yīng)

        發(fā)貨地點:廣東省東莞市

        發(fā)布時間:2025-06-18

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        詳細信息

        廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,各有特性與優(yōu)勢,適用于不同領(lǐng)域。

        厚板光刻膠 JT - 3006:具有優(yōu)異的分辨率和感光度,抗深蝕刻性能良好,符合歐盟 ROHS 標準,保質(zhì)期 1 年。需保存在干燥區(qū)域并密封,使用前要閱讀參考技術(shù)資料。適用于厚板的光刻加工,在對精度、感光度和抗蝕刻要求高的生產(chǎn)場景中發(fā)揮作用,如特定的電路板制造領(lǐng)域。

        水油光刻膠 SR - 3303:適用于光學(xué)儀器、太陽能電池等領(lǐng)域的光刻工藝。品質(zhì)保障、性能穩(wěn)定的特點,由工廠研發(fā)且支持定制,工廠直銷。 吉田半導(dǎo)體全系列產(chǎn)品覆蓋,滿足多元化需求。濟南厚膜光刻膠供應(yīng)商

        濟南厚膜光刻膠供應(yīng)商,光刻膠

         差異化競爭策略
        高級市場(如ArF浸沒式光刻膠),吉田半導(dǎo)體采取跟隨式創(chuàng)新,通過優(yōu)化現(xiàn)有配方(如提高酸擴散抑制效率)逐步縮小與國際巨頭的差距;在中低端市場(如PCB光刻膠),則憑借性價比優(yōu)勢(價格較進口產(chǎn)品低20%-30%)快速搶占份額,2023年P(guān)CB光刻膠市占率突破10%。

         前沿技術(shù)儲備
        公司設(shè)立納米材料研發(fā)中心,重點攻關(guān)分子玻璃光刻膠和金屬有機框架(MOF)光刻膠,目標在5年內(nèi)實現(xiàn)EUV光刻膠的實驗室級突破。此外,其納米壓印光刻膠已應(yīng)用于3D NAND存儲芯片的孔陣列加工,分辨率達10nm,為國產(chǎn)存儲廠商提供了替代方案。
        四川水性光刻膠國產(chǎn)廠家松山湖光刻膠廠家吉田,2000 萬級產(chǎn)能,48 小時極速交付!

        濟南厚膜光刻膠供應(yīng)商,光刻膠

        定義與特性

        負性光刻膠是一種在曝光后,未曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料,形成與掩膜版(Mask)圖案相反的圖形。與正性光刻膠相比,其主要特點是耐蝕刻性強、工藝簡單、成本低,但分辨率較低(通常≥1μm),主要應(yīng)用于對精度要求相對較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場景。

        化學(xué)組成與工作原理

         主要成分

         基體樹脂:

        早期以聚異戊二烯橡膠(天然或合成)為主,目前常用環(huán)化橡膠(Cyclized Rubber)或聚乙烯醇肉桂酸酯,提供膠膜的機械強度和耐蝕刻性。

         光敏劑:

        主要為雙疊氮化合物(如雙疊氮芪)或重氮醌類衍生物,占比約5%-10%,吸收紫外光后引發(fā)交聯(lián)反應(yīng)。

         交聯(lián)劑:

        如六亞甲基四胺(烏洛托品),在曝光后與樹脂發(fā)生交聯(lián),形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

         溶劑:

        多為有機溶劑(如二甲苯、環(huán)己酮),溶解樹脂和光敏劑,涂布后揮發(fā)形成均勻膠膜。

         工作原理

         曝光前:光敏劑和交聯(lián)劑均勻分散在樹脂中,膠膜可溶于顯影液(有機溶劑)。

         曝光時:

        光敏劑吸收紫外光(G線436nm為主)后產(chǎn)生活性自由基,引發(fā)交聯(lián)劑與樹脂分子間的共價鍵交聯(lián),使曝光區(qū)域形成不溶于顯影液的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

         顯影后:

        未曝光區(qū)域的樹脂因未交聯(lián),被顯影液溶解去除,曝光區(qū)域保留,形成負性圖案(與掩膜版相反)。

        吉田半導(dǎo)體的自研產(chǎn)品已深度融入國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈:

        • 芯片制造:YK-300 光刻膠服務(wù)中芯國際、長江存儲,支持國產(chǎn) 14nm 芯片量產(chǎn)。
        • 顯示面板:YK-200 LCD 光刻膠市占率達 15%,成為京東方、華星光電戰(zhàn)略合作伙伴。
        • 新能源領(lǐng)域:無鹵無鉛焊片通過 UL 認證,批量應(yīng)用于寧德時代儲能系統(tǒng),年供貨量超 500 噸。
        • 研發(fā)投入:年研發(fā)費用占比超 15%,承擔(dān)國家 02 專項課題,獲 “國家技術(shù)發(fā)明二等獎”。
        • 產(chǎn)能規(guī)模:光刻膠年產(chǎn)能 5000 噸,納米壓印光刻膠占全球市場份額 15%。
        • 質(zhì)量體系:通過 ISO9001、IATF 16949 等認證,生產(chǎn)過程執(zhí)行 8S 管理,批次穩(wěn)定性達 99.5%。
        吉田半導(dǎo)體將繼續(xù)聚焦光刻膠研發(fā),加速 EUV 光刻膠與木基材料技術(shù)突破,目標在 2027 年前實現(xiàn) 7nm 制程材料量產(chǎn)。同時,深化國產(chǎn)供應(yīng)鏈協(xié)同,構(gòu)建 “材料 - 設(shè)備 - 工藝” 一體化生態(tài)圈,為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化貢獻 “吉田力量”。
        從突破國際壟斷到行業(yè)標準,吉田半導(dǎo)體以自研自產(chǎn)為引擎,走出了一條中國半導(dǎo)體材料企業(yè)的崛起之路。未來,公司將以更具競爭力的產(chǎn)品與技術(shù),助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高臺階。
        納米級圖案化的主要工具。

        濟南厚膜光刻膠供應(yīng)商,光刻膠

        工藝流程

        目的:去除基板表面油污、顆粒,增強感光膠附著力。

        方法:

        化學(xué)清洗(硫酸/雙氧水、去離子水);

        表面處理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,PCB基板用粗化處理)。

         涂布(Coating)

        方式:

        旋涂:半導(dǎo)體/顯示領(lǐng)域,厚度控制精確(納米至微米級),轉(zhuǎn)速500-5000rpm;

        噴涂/輥涂:PCB/MEMS領(lǐng)域,適合大面積或厚膠(微米至百微米級,如負性膠可達100μm)。

        關(guān)鍵參數(shù):膠液黏度、涂布速度、基板溫度(影響厚度均勻性)。

         前烘(Soft Bake)

        目的:揮發(fā)溶劑,固化膠膜,增強附著力和穩(wěn)定性。

        條件:

        溫度:60-120℃(正性膠通常更低,如90℃;負性膠可至100℃以上);

        時間:5-30分鐘(根據(jù)膠厚調(diào)整,厚膠需更長時間)。

         曝光(Exposure)

        光源:

        紫外光(UV):G線(436nm)、I線(365nm)用于傳統(tǒng)光刻(分辨率≥1μm);

        深紫外(DUV):248nm(KrF)、193nm(ArF)用于半導(dǎo)體先進制程(分辨率至20nm);

        極紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性膠適用)。

        曝光方式:

        接觸式/接近式:掩膜版與膠膜直接接觸(PCB、MEMS,低成本但精度低);

        投影式:通過物鏡聚焦(半導(dǎo)體,分辨率高,如ArF光刻機精度達22nm)。

        聚焦封裝需求,吉田公司提供從光刻膠到配套材料的一姑式服務(wù)。濟南厚膜光刻膠供應(yīng)商

        正性光刻膠的工藝和應(yīng)用場景。濟南厚膜光刻膠供應(yīng)商

        關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域

        半導(dǎo)體制造:

        在晶圓表面涂覆光刻膠,通過掩膜曝光、顯影,刻蝕出晶體管、電路等納米級結(jié)構(gòu)(如EUV光刻膠用于7nm以下制程)。

         印刷電路板(PCB):

        保護電路圖形或作為蝕刻抗蝕層,制作線路和焊盤。

         顯示面板(LCD/OLED):

        用于制備彩色濾光片、電極圖案等。

         微機電系統(tǒng)(MEMS):

        加工微結(jié)構(gòu)(如傳感器、執(zhí)行器)。

        工作原理(以正性膠為例)

        1. 涂膠:在基材(如硅片)表面均勻旋涂光刻膠,烘干形成薄膜。

        2. 曝光:通過掩膜版,用特定波長光線照射,曝光區(qū)域的光敏劑分解,使樹脂變得易溶于顯影液。

        3. 顯影:用顯影液溶解曝光區(qū)域,留下未曝光的光刻膠圖案,作為后續(xù)刻蝕或離子注入的掩蔽層。

        4. 后續(xù)工藝:刻蝕基材(保留未被光刻膠保護的區(qū)域),或去除光刻膠(剝離工藝)。
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