該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例2本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例3本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三甘醇單丁醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例4本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為二乙二醇單甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例5本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。BOE蝕刻液，助您打造精美絕倫的蝕刻作品。安徽BOE蝕刻液供應(yīng)商

    siendolaresultantemíósitosdeberáserarenasilíceayestarlavada,limpia,secayexentadearcillas,limos,componentesdeazufreydecualquierotrasustanciaquepuedaatacarquímicamentealosmaterialesdeldepósito;eltama?odelosgranosdearenaestarácomprendidoentre0,1y2milíánecesarialainstalacióndecubeto,circunstanciaquedeberááticoenlaexcavacióndealojamientodetanquesseconstruirááeldepósitoparaimpedirquevacíoseeleveomuevaencasodeinmersióóndeldepósitoalasoleraseefectuarádeformaquelapresiónejercidasobreelrevestimientoprotectornopuedada?arlo,yaseaenelmomentodesucolocación,yaseaencasodeflotacióándepletinadeacerodeseismilímetrosdeespesorcomomíáunfieltroomaterialanálogo,inalterablealentornoqueimpidaquelosflejesda?enelrevestimientodeldepóálicasdeestafijaciónestánprotegidascontralacorrosióósitosserealizarácomosedescribeenel。湖南工業(yè)級BOE蝕刻液主要作用優(yōu)先蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來越高，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻時，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測量時，檢測點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類、％的表面活性劑。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。

    ósitosapareddecubetoserácomomínimode50centímetrosyentretanquesserááóóónexteriordelosdepósitosseestudiarádeformaespecialenloscasosdeexistenciadeaguasselenitosas,corrosivasuotroselementosagresivosenlazonaadyacentealenterramientoycomomínimo,enmedionoagresivo,elrevestimientodeberá:1.oTenerunespesormí.oResistiralensayode15kVdetensióndeperforación,.oónseaplicarásobretodalasuperficieexterior,ósitosselimpiarádeaceites,grasas,etc.,aplicándoseuntratamientodecepilladomanualomecánicoparaconseguirquelasuperficiepresenteunaspectodebrillometálico,ónpasivainterior,á?ósitosdeaceroinoxidablenoseránecesarialaproteccióáunaorejetaenchapadeacerodecincomilímetrosdeespesorcomomínimo,soldadaalcuellodelabocadehombreparalaconexión,mediantetornilloosoldadura?CADWELD?,delalíneadetierraoproteccióncatódica;launiónseprotegeráyaislarámediantepastasepoxíálacontinuidadeléctricadelatapadelabocadehombre。蘇州BOE蝕刻液廠家哪家好？

    0HT260WXC-100CELLHT260WX2-101MV238FHB-N10MV238FHM-N10HT236F01-100HT236F03-100HM236WU1-100HM236WU1-400HM236WU3-100HM236WU3-110HM236WU1-200HR236WU1-100HM236WU1-300HR236WU1-300HM236WU3-200HR236WU1-310HM236WU3-101HM236WU3-201HV236WHB-N00HR230WU1-100HR230WU1-400HR230WU3-500HV230FH2-600HR230WU3-300HR230WU1-500HT220WP1-100HT215F01-100HM215WU1-500HM215WU1-300HM215WU3-100HR215WU1-100HM215WU3-500BOEM215WU1HR215WU1-200HR215WU1-120HR215WU1-210HR215WU3-201HR215WU3-120MT207FHB-N20MT207FHB-N10MT207FHM-N20HT201V01-100HT201V01-101HM200WD1-200HM200WD1-100HT190E01-100HT190WG1-100HT190WG1-101HT190WG1-102HT190WG1-600HT190WG1-601HT190WG3-100HT190WG3-500HT190WG1-602HT190E01-300HT190WG3-101HM190WG3-700MV190E0M-N10HT185WX1-100HT185WX1-500HT185WX1-300HT185WX1-501HM185WX1-400HM185WX3-200HT185WXB-100HM185WX3-400HE185WX1-100HM185WX3-300HM185WX1-300HM185WX3-401HM185WX3-301HT170E01-100HT170E01-101HT170E01-300HT170E01-400HT170E01-500HT170E02-100HT170EX1-100HT170EX1-101HT170EX1-300HT170EX1-600HT156WX1-100HT156WXB-10。BOE蝕刻液，高效，品質(zhì)之選。河南應(yīng)用BOE蝕刻液生產(chǎn)

您的選擇是對我的肯定，蘇州博洋化學(xué)股份有限公司歡迎您。安徽BOE蝕刻液供應(yīng)商

    litrosdecapacidadnominal:.oParadepósitosde&litrosdecapacidadnominal:óánecesarialaejecucióndeuncubetoestancocontubobuzodetectordefugasparaalojarlosdepóánsuperaralasdelosdepóósitosdistaránentresíunmetrocomomíósitosserellenarádearenadelascaracterísticasqueseindicanenelapartado,inclusosobrelapartesuperiordelosdepósitos,conunespesorde50centímetroscomomínimoporencimadelageneratrizsuperiordeldepósito,independientementedelascapasprecisashastaelpavimentoaconstruir,siendolaresultantemíún/oselementosdealmacenamientoycuyamisiónesretenerlosproductoscontenidoseneste/oselemento/ósitosenterradossecolocaránsobreunlechodearenalimpiaeinerte,convenientementemullida,de50centímetrosdeespesormínimo;asimismo,elrellenoseefectuaráánlasprecaucionesnecesariasparanoda?arelrevestimientodeldepósitoyseapisonaráósitoserádearenalimpiaeinerteytendráunespesorde50centímetroscomomínimo,independientementedelascapasprecisashastaelpavimentoaconstruir。安徽BOE蝕刻液供應(yīng)商