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真空灌膠機(jī)以 - 99kPa 真空 + 壓力閉環(huán)控制，將 12 英寸晶圓的封裝翹曲量控制在 ±15μm（行業(yè) ±30μm）。設(shè)備采用 "真空 - 靜壓" 雙重工藝：灌膠時維持真空消除氣泡，同時施加 0.05MPa 靜壓抵消固化收縮，使 8μm 超薄芯片的應(yīng)力集中降低 72%。某 5G 射頻芯片實測顯示，經(jīng)真空灌膠的晶圓級封裝，在 260℃回流焊后翹曲* 8μm，良率從 82% 提升至 94%，單片 wafer 節(jié)約成本超 2 萬元。其**的 "邊緣真空補償" 技術(shù)，通過 12 組微型真空泵實時調(diào)節(jié)晶圓邊緣壓力，解決傳統(tǒng)灌膠的 "邊緣凹陷" 難題 —— 這在某客戶的指紋芯片產(chǎn)線中，將封裝后玻璃蓋板的貼合良率從 89% 提升至 98.7%。2025 年，該設(shè)備已通過 SEMI G52 認(rèn)證，其真空灌膠工藝被應(yīng)用于 3D 封裝的 TSV 孔填充，在 0.5mm 深孔中實現(xiàn) 100% 無空洞，助力蘇州半導(dǎo)體封裝技術(shù)邁向 2.5D/3D 時代。

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真空灌膠機(jī)是確保灌膠均勻無氣泡的行家。臺州自動真空灌膠機(jī)銷售

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