廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-08

采用油霧分離 + 冷凝回收技術(shù)，將進(jìn)入真空泵的甲酸蒸汽含量控制在≤0.1ppm，延長泵油更換周期至 8000 小時（傳統(tǒng)工藝 2000 小時）。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的真空泵配備油質(zhì)傳感器，實(shí)時監(jiān)測污染程度并提醒維護(hù)。

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