6.2.1潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量,根據(jù)潔凈室特點(diǎn),宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機(jī),再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī);關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng),并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。潔凈室檢測不僅是合規(guī)要求,更是保障產(chǎn)...
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。按所需控制的空氣中懸浮微粒分類,可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。河北消毒液凈化車間環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。...
(三)空氣過濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計(jì)數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn),并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進(jìn)行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝...
在單向流潔凈室內(nèi),干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排至室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以,前聯(lián)邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個空氣活塞,沿著房間這個“氣缸”,向前(下)推進(jìn),而使塵粒只能前(下)進(jìn),沒有返回,把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。實(shí)時監(jiān)測系統(tǒng)能夠持續(xù)監(jiān)控潔凈室環(huán)境,及時發(fā)現(xiàn)異常情況。北京口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),...
單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測點(diǎn)風(fēng)速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得檢測過程中,應(yīng)確保所有設(shè)備處于正常工作狀態(tài)。江西...
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風(fēng)速有一定要求,而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細(xì)菌濃度等均有較高的要求。江西排風(fēng)柜檢測規(guī)范性強(qiáng)B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用...
4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)。2潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動隔振措施。3應(yīng)測定潔凈廠房內(nèi)、外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響,以決定是否采取被動隔振措施。4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動值時,可按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。江蘇潔凈室環(huán)境檢測優(yōu)化價格②沉降菌的測試對單向流...
潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室?;旌狭鳚崈羰遥簡蜗蛄骱头菃蜗虻臍饬鞯臐崈羰?。北京口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測優(yōu)化價格B.3.3.3.2離散粒子...
(七)室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器,設(shè)備測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計(jì)。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣對有噪聲設(shè)計(jì)要求的各個場所分別測定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下,非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA;單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA;潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過程及判定(1)測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計(jì)一般只測A聲級的數(shù)值。必要時測倍頻程聲壓級。(2)潔凈室面積在15m點(diǎn)采樣,除房間兩對角線相交的室中心位置外,另在房間...
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn),隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。潔凈室檢測需考慮季節(jié)性變化對環(huán)境參數(shù)的影響。湖南實(shí)驗(yàn)室檢測誠信推薦4.1.1潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定,并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定:1應(yīng)在大氣含塵和...
②沉降菌的測試對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn),打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時間不少于48小時。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對照培養(yǎng)。c.菌落計(jì)數(shù)用肉眼直接計(jì)數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計(jì)...
15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行,應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時,應(yīng)符合下列規(guī)定:1總平面布置時,應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響;2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì);3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動影響的動力設(shè)備及其管道,應(yīng)采取主動隔振措施;4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器,經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時,應(yīng)采取被動隔振措施。潔凈室檢測不僅是當(dāng)前生產(chǎn)的...
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測步驟:(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計(jì)測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于10Pa。(3)對...
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。安裝驗(yàn)證和操作驗(yàn)證完成并進(jìn)行確認(rèn)工作后即進(jìn)行性能驗(yàn)證。江西生物安全柜檢測技術(shù)好潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良...
空氣潔凈度:這是潔凈車間環(huán)境檢測的**指標(biāo),通常通過檢測空氣中的塵埃粒子數(shù)來評估。不同潔凈等級的車間對塵埃粒子的限制不同,如潔凈度等級為100級的車間對大于等于5μm的塵粒有嚴(yán)格的計(jì)數(shù)要求。微生物指標(biāo):包括浮游菌、沉降菌等微生物的數(shù)量。這些微生物可能對產(chǎn)品質(zhì)量和工作人員健康造成影響,因此需要進(jìn)行嚴(yán)格的控制和監(jiān)測。溫度與濕度:潔凈車間需要保持穩(wěn)定的溫度和濕度環(huán)境,以確保生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。通常,生產(chǎn)工藝對溫度和濕度無特殊要求時,潔凈室溫度應(yīng)為18~26℃,相對濕度應(yīng)為45~65%。潔凈室內(nèi)的照明設(shè)備需定期清潔,避免成為污染源。山東實(shí)驗(yàn)室檢測值得推薦潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房...
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下,潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回...
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下,潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回...
單向流潔凈室的流動狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)?,國外的一些?biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點(diǎn)。例如,英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時使用的成語中,“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進(jìn)流。在流體力學(xué)中,這種流動狀態(tài)也可以稱為平行流動或單向流動。1977年,我國在《清潔空氣技術(shù)措...
B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個測點(diǎn)。每只過濾器或每臺風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點(diǎn)??墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個測點(diǎn)。每只過濾器或每臺風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一...
相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會讓人感覺干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實(shí)際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對濕度超過50%時,靜電荷開始迅速消散,但是當(dāng)相對濕度小于30%時,它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中,半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。引入第三方檢測機(jī)構(gòu)進(jìn)行定期審核,確保檢測結(jié)果的公正性。北京電子廠房環(huán)境檢測...
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項(xiàng)目。通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。福建實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測哪家好潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生...
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn),隨便一?;覊m掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。蔚亞科技專注于潔凈室檢測、潔凈室3Q驗(yàn)證、壓縮空氣檢測、潔凈設(shè)備檢測。上海實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)5.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性...
1當(dāng)生產(chǎn)工藝對溫度和濕度有特殊要求時,食品工業(yè)潔凈用房的溫度和濕度應(yīng)根據(jù)工藝要求確定。2當(dāng)生產(chǎn)工藝對溫度和濕度無特殊要求時,I級、Ⅱ級潔凈用房溫度應(yīng)為20℃~25℃,相對濕度應(yīng)為30%~65%;Ⅲ級、Ⅳ級潔凈用房溫度應(yīng)為18℃~26℃,相對濕度應(yīng)為30%~70%。4.3.2食品工業(yè)潔凈用房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求提供照度,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1檢驗(yàn)場所工作面混合照明的最低照度不應(yīng)低于500lx,加工場所工作面一般照明的最低照度不應(yīng)低于200lx。2輔助工作室、走廊、緩沖室、人員凈化和物料凈化用室一般照明的照度值不宜低于100lx。3對照度有特殊要求的生產(chǎn)部位可設(shè)置局部照明。4.3.3I級潔凈用房的噪聲級(...
1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部:風(fēng)速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細(xì)菌濃度。2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、電子工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間。4、食品工業(yè)潔凈用房:定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對濕度、自凈時間、甲醛、Ⅰ級工作區(qū)截面風(fēng)速、開發(fā)的洞口風(fēng)速、新風(fēng)量。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、現(xiàn)代技術(shù)密切聯(lián)系在一起。湖南潔凈工作臺檢測方便客戶5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間...
B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測量U描述符所用體系的計(jì)數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū),其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計(jì)數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計(jì)數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對擴(kuò)散元件透過率的計(jì)算,該擴(kuò)散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器(CNC)的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測量或驗(yàn)證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低...
五、潔凈室檢測的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè):醫(yī)藥制造需要在無菌環(huán)境下完成,因此需要設(shè)立無菌車間(即“百級”車間)。該車間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范,并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機(jī)構(gòu)審核。2.電子行業(yè):由于微型芯片制造需要極為干燥無塵且高溫高壓條件下完成,在微電子制造廠中必須建立超純水站(UPW)以及超純氮?dú)庹荆∟G)等設(shè)施來滿足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè):航天器發(fā)射前需要進(jìn)入“百萬級”或“十萬級”無菌車間進(jìn)行組裝與測試。這些車間具有完成**終裝配所需條件(如真空環(huán)境),并能夠有效防止外界雜質(zhì)進(jìn)入艙體內(nèi)部。潔凈室檢測數(shù)據(jù)應(yīng)與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合,綜合分析。湖北潔凈室環(huán)境檢測技術(shù)好在單向流潔凈室中,潔凈氣流不...
B.1.2.2空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)規(guī)程將離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置,設(shè)定計(jì)數(shù)器的流量,選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣[1],進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點(diǎn),將采樣口正對氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(例如非單向流)的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時,連接管的長度和直徑不應(yīng)超過制造商的建議值。采樣過程中,因擴(kuò)散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍...
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測步驟:(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計(jì)測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于10Pa。(3)對...
14.2.1潔凈廠房的平面、空間布置時,應(yīng)根據(jù)噪聲控制要求布置,宜集的的中布置發(fā)聲設(shè)備。14.2.2潔凈室(區(qū))內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過規(guī)定的設(shè)備,應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特性、外形尺寸等因素,采取降低聲源噪聲的隔聲設(shè)施。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能。14.2.3凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動力設(shè)備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源,應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施。空調(diào)機(jī)房、動力站房宜采取下列措施。通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。江西排風(fēng)柜檢測哪家好潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測定潔凈室...
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下,潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回...