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光刻膠又稱光致抗蝕劑，主要由感光樹脂、增感劑和溶劑三種成分組成。感光樹脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)曝光、顯影、刻蝕、擴散、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微細圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至加工的...

參考圖7)，這種殘余物在覆蓋一系列柵極堆棧薄膜之后會被增強呈現(xiàn)，傳遞到柵極成型工序時會對柵極圖形產(chǎn)生嚴重的影響，即在柵極曝光圖形成型之后形成埋層缺陷，在柵極刻蝕圖形成型之后造成柵極斷開或橋接，直接降低了產(chǎn)品良率。另外，在氧氣灰化階段，由于等離子氧可以穿透襯底表...

該方法包括：步驟110、將多級腔室順序排列，按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液；步驟120、將來自于當前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中，所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑；步驟130、使用當前級腔室相應的過濾器...

本申請涉及半導體工藝技術領域，具體涉及一種剝離液機臺及其工作方法。背景技術：剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減，lift-off先形成光阻并圖案化，再在光阻上成膜，移除光阻的同時，沉積在光阻上...

但現(xiàn)有的回收裝置普遍存在如下問題：剝離廢液利用水洗裝置水洗過濾出光刻膠樹脂成分，回收率低。為了解決這一問題，現(xiàn)有技術通常再向剝離廢液中加入沉淀劑繼續(xù)反應，而后沉淀過濾出光刻膠樹脂成分，但所得到的光刻膠樹脂成分品質(zhì)不宜再用于光刻膠原料，只能用于其他要求較低的樹脂...

用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3：有少量殘渣4：基本能剝離，但一部分殘渣多5：一半以上能剝離，但一部分殘渣多6：基本不能剝離，但一部分剝離7：不能剝離【表2】由該結果可知，在含有溶纖劑的抗蝕劑的剝離液中使用氫氧化鉀代替氫氧化鈉的本發(fā)明組成，與使用氫氧化鈉的比較...

本申請實施例還提供一種剝離液機臺的工作方法，請參閱圖5，圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖，該方法包括：步驟110、將多級腔室順序排列，按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液；步驟120、將來自于當前級腔室經(jīng)歷剝離制...

本發(fā)明提供的光刻膠剝離去除方法第二實施例，用于半導體制造工藝中，可應用于包括但不限于mos、finfet等所有現(xiàn)有技術中涉及光刻膠剝離去除的生產(chǎn)步驟，主要包括以下步驟:s1，在半導體襯底上淀積一層二氧化硅薄膜作為介質(zhì)層；s2，旋涂光刻膠并曝光顯影，形成光刻圖形...

蘇州博洋化學股份有限公司研發(fā)中心擁有先進的科研生產(chǎn)和檢測設備，專業(yè)的研發(fā)團隊。致力于電子領域環(huán)保、節(jié)能、環(huán)境友好化學品的研究開發(fā)；并根據(jù)客戶的個性化需求量身定做整套解決方案，力求客戶100%滿意。公司以蘇州大學、蘇州科技大學、上海交通大學等高校研發(fā)隊伍為依托，...

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濃硝酸不穩(wěn)定，遇光或熱會分解而放出二氧化氮，分解產(chǎn)生的二氧化氮溶于硝酸，從而使外觀帶有淺黃色。但稀硝酸相對穩(wěn)定。反應方程式：4HNO?=光照=4NO?↑+O?↑+2H?O4HNO?=△=4NO?↑+O?↑+2H?O酯化反應（強酸性）硝酸可以與醇發(fā)生酯化反應生成...

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純硝酸為無色透明液體，濃硝酸為淡黃色液體（溶有二氧化氮），正常情況下為無色透明液體，有窒息性刺激氣味。濃硝酸含量為68%左右，易揮發(fā)，在空氣中產(chǎn)生白霧（與濃鹽酸相同），是硝酸蒸汽（一般來說是濃硝酸分解出來的二氧化氮）與水蒸汽結合而形成的硝酸小液滴。露光能產(chǎn)生二...

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硝酸是一種具有強氧化性、腐蝕性的強酸，屬于一元無機強酸，是六大無機強酸之一，也是一種重要的化工原料。在工業(yè)上可用于制化肥、農(nóng)藥、ZY、染料、鹽類等；在有機化學中，濃硝酸與濃硫酸的混合液是重要的硝化試劑，其水溶液俗稱硝鏹水或氨氮水。所屬的危險符號是O（Oxidi...

純硝酸為無色透明液體，濃硝酸為淡黃色液體（溶有二氧化氮），正常情況下為無色透明液體，有窒息性刺激氣味。濃硝酸含量為68%左右，易揮發(fā)，在空氣中產(chǎn)生白霧（與濃鹽酸相同），是硝酸蒸汽（一般來說是濃硝酸分解出來的二氧化氮）與水蒸汽結合而形成的硝酸小液滴。露光能產(chǎn)生二...

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純硝酸為無色透明液體，濃硝酸為淡黃色液體（溶有二氧化氮），正常情況下為無色透明液體，有窒息性刺激氣味。濃硝酸含量為68%左右，易揮發(fā)，在空氣中產(chǎn)生白霧（與濃鹽酸相同），是硝酸蒸汽（一般來說是濃硝酸分解出來的二氧化氮）與水蒸汽結合而形成的硝酸小液滴。露光能產(chǎn)生二...

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