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        中芯國際輪廓儀推薦產(chǎn)品

        來源: 發(fā)布時間:2021-02-01

        輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:

        邁爾爾遜

        1852-1931

        美國物理學(xué)家

        曾從事光速的精密測量工作  

        邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準(zhǔn)。

        1881年,他發(fā)明了一種用以測量微小長度,折射率和光波波長的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。

        他和美國物理學(xué)家莫雷合作,進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗,否定了以太de 存在,為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ)。

        由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎。 NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。中芯國際輪廓儀推薦產(chǎn)品

            新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負擔(dān)*后,表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,也包括軟件功能用于形貌分析,如形狀去除和波長過濾,都包含在基film3D軟件。對于更進階的功能,F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進一步處理film3D數(shù)據(jù),這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能?每film3D都已標(biāo)配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,可達%準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm,2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。*大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要。更進一步減少總體成本。實驗室輪廓儀國內(nèi)用戶一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右。

        輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:

        晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。



        白光輪廓儀的典型應(yīng)用:

        對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


        NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

        ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲

        ? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

        ? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

        ? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存

        ? MTBF ≥ 1500 hrs

        ? 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)

        ? 具備 Global alignment & Unit alignment

        ? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm

        ? XY運動速度

        **快


        如果需要了解更多詳細參數(shù),請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。

        我們主要經(jīng)營鍵合機、光刻機、輪廓儀,隔振臺等設(shè)備。 NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光。

        輪廓的角度處理:  

        角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線 。



        白光輪廓儀的典型應(yīng)用:

        對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。  


        NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準(zhǔn)確度<1% ;重復(fù)性<0.1% (1σ,10um臺階高)。廣東輪廓儀代理價格

        表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)。中芯國際輪廓儀推薦產(chǎn)品

        強大的輪廓儀光電一體軟件


        美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換


        光機電一體化軟硬件集成


        三維分析處理迅速,結(jié)果實時更新


        縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理


        自主設(shè)定測量閾值,三維處理自動標(biāo)注


        測量模式可根據(jù)需求自由切換


        三維圖像支持高清打印


        菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機界面?zhèn)€性直觀


        個性化軟件應(yīng)用支持

        可進行軟件在線升級和遠程支持服務(wù)


        10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BD Medical

        Instrument)

        光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)


        岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

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        岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司。公司自創(chuàng)立以來,投身于磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,在風(fēng)云變化的時代,對自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信。