低成本桌面化光刻:SPS POLOS 的科研普惠!Polos系列在微流體領域實現復雜3D流道結構的快速成型。例如,中科院理化所利用類似技術制備跨尺度微盤陣列,研究細胞浸潤行為,為組織工程提供新策略3。Polos的高精度與靈活性支持仿生結構批量生產,推動醫(yī)療診斷芯片研發(fā),如tumor篩查與藥物遞送系統的微型化64。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。材料科學:超疏水表面納米圖案化,接觸角 165°,防腐蝕性能增強 10 倍。廣東POLOSBEAM-XL光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
某集成電路實驗室利用 Polos 光刻機開發(fā)了基于相變材料的存算一體芯片。其激光直寫技術在二氧化硅基底上實現了 100nm 間距的電極陣列,器件的讀寫速度達 10ns,較傳統 SRAM 提升 100 倍。通過在電極間集成 20nm 厚的 Ge2Sb2Te5 相變材料,芯片實現了計算與存儲的原位融合,能效比達 1TOPS/W,較傳統馮諾依曼架構提升 1000 倍。該技術被用于邊緣計算設備,使圖像識別延遲從 50ms 縮短至 5ms,相關芯片已進入小批量試產階段。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。廣東POLOSBEAM-XL光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸光束引擎高速掃描:SPS POLOS 單次寫入400 m區(qū)域,壓電驅動提升掃描速度。
某分析化學實驗室采用 Polos 光刻機開發(fā)了集成電化學傳感器的微流控芯片。其多材料同步曝光技術在 PDMS 通道底部直接制備出 10μm 寬的金電極,傳感器的檢測限達 1nM,較傳統電化學工作站提升 100 倍。通過軟件輸入不同圖案,可在 24 小時內完成從葡萄糖檢測到重金屬離子分析的模塊切換。該芯片被用于即時檢測(POCT)設備,使現場水質監(jiān)測時間從 2 小時縮短至 10 分鐘,相關設備已通過歐盟 CE 認證。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。
某材料科學研究中心在探索新型納米復合材料的性能時,需要在材料表面構建特殊的納米圖案。德國 Polos 光刻機成為實現這一目標的得力工具。研究人員利用其無掩模激光光刻技術,在不同的納米材料表面制作出各種周期性和非周期性的圖案結構。經過測試發(fā)現,帶有特定圖案的納米復合材料,其電學、光學和力學性能發(fā)生了remarkable改變。例如,一種原本光學性能普通的納米材料,在經過 Polos 光刻機處理后,對特定波長光的吸收率提高了 30%,為開發(fā)新型光電器件和光學傳感器提供了新的材料選擇和設計思路 。Polos-BESM XL:130mm×130mm 曝光幅面,STL 模型直接導入,微流控芯片制備周期縮短 40%。
德國 Polos 光刻機系列的一大突出優(yōu)勢,便是能夠輕松輸入任意圖案進行曝光。在科研工作中,創(chuàng)新的設計理念往往需要快速驗證,而 Polos 光刻機正滿足了這一需求?蒲腥藛T無需花費大量時間和成本制作掩模,只需將設計圖案導入系統,就能迅速開始光刻作業(yè)。 在生物醫(yī)學工程領域,研究人員利用這一特性,快速制作出具有特殊結構的生物芯片,用于疾病診斷和藥物篩選。在材料科學研究中,可根據不同材料特性,定制獨特的圖案結構,探索材料的新性能。這種靈活的圖案輸入方式,remarkable縮短了科研周期,加速科研成果的產出,讓科研人員能夠將更多精力投入到創(chuàng)新研究中。多材料兼容:金屬 / 聚合物 / 陶瓷同步加工,微流控芯片集成傳感器一步成型。重慶德國POLOS光刻機光源波長405微米
未來技術儲備:持續(xù)研發(fā)光束整形與多材料兼容工藝,lead微納制造前沿。廣東POLOSBEAM-XL光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
在航空航天科研中,某科研團隊致力于研發(fā)用于環(huán)境監(jiān)測和偵察的微型飛行器。其中,制造輕量化且高性能的微機械部件是關鍵。德國 Polos 光刻機憑借無掩模激光光刻技術,助力團隊制造出尺寸precise、質量輕盈的微型齒輪、機翼骨架等微機械結構。例如,利用該光刻機制造的微型齒輪,齒距精度達到納米級別,極大提高了飛行器動力傳輸系統的效率和穩(wěn)定性。基于此,科研團隊成功試飛了一款新型微型飛行器,其續(xù)航時間和飛行靈活性遠超同類產品,為未來微型飛行器在復雜環(huán)境下的應用奠定了堅實基礎。廣東POLOSBEAM-XL光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸