化學(xué)反應(yīng)：
正性膠：曝光后光敏劑（如重氮醌DQN）分解，生成羧酸，在堿性顯影液中溶解；
負(fù)性膠：曝光后光敏劑引發(fā)交聯(lián)劑與樹脂形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
5. 顯影（Development）
顯影液：
正性膠：堿性水溶液（如0.26N四甲基氫氧化銨TMAH），溶解曝光區(qū)域；
負(fù)性膠：有機(jī)溶劑（如二甲苯、醋酸丁酯），溶解未曝光區(qū)域。
方法：噴淋顯影（PCB）或沉浸式顯影（半導(dǎo)體），時間30秒-2分鐘，需控制顯影液濃度和溫度。
6. 后烘（Post-Bake）
目的：固化膠膜，提升耐蝕刻性和熱穩(wěn)定性。
條件：
溫度：100-150℃（半導(dǎo)體用正性膠可能更高，如180℃）；
時間：15-60分鐘（厚膠或高耐蝕需求時延長）。
7. 蝕刻/離子注入（后續(xù)工藝）
蝕刻：以膠膜為掩膜，通過濕法（酸堿溶液）或干法（等離子體）刻蝕基板材料（如硅、金屬、玻璃）；
離子注入：膠膜保護(hù)未曝光區(qū)域，使雜質(zhì)離子只能注入曝光區(qū)域（半導(dǎo)體摻雜工藝）。
8. 去膠（Strip）
方法：
濕法去膠：強(qiáng)氧化劑（如硫酸+雙氧水）或有機(jī)溶劑（如N-甲基吡咯烷酮NMP）；
干法去膠：氧等離子體灰化（半導(dǎo)體領(lǐng)域，無殘留）。
松山湖光刻膠廠家吉田，2000 萬級產(chǎn)能，48 小時極速交付!浙江低溫光刻膠
吉田半導(dǎo)體厚板光刻膠 JT-3001：國產(chǎn)技術(shù)助力 PCB 行業(yè)升級
JT-3001 厚板光刻膠支持 500nm/min 深蝕刻，成為國產(chǎn) PCB 電路板制造推薦材料。
吉田半導(dǎo)體自主研發(fā)的 JT-3001 厚板光刻膠，分辨率 1.5μm，抗深蝕刻速率 > 500nm/min，適用于高密度 PCB 制造。其無鹵無鉛配方通過歐盟 RoHS 認(rèn)證，已應(yīng)用于華為 5G 基站主板量產(chǎn)。產(chǎn)品采用國產(chǎn)原材料與全自動化工藝，批次穩(wěn)定性達(dá) 99.5%，幫助客戶提升生產(chǎn)效率 20%，加速國產(chǎn) PCB 行業(yè)技術(shù)升級，推動 PCB 行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程。
浙江低溫光刻膠正性光刻膠的工藝和應(yīng)用場景。
吉田半導(dǎo)體柯圖泰全系列感光膠：進(jìn)口品牌品質(zhì)，本地化服務(wù)支持
柯圖泰全系列感光膠依托進(jìn)口技術(shù)，提供高性價比的絲網(wǎng)印刷解決方案。
吉田半導(dǎo)體代理的柯圖泰全系列感光膠（如 PLUS 6000、Autosol 2000），源自美國先進(jìn)配方，分辨率達(dá) 120 線 / 英寸，適用于玻璃、陶瓷等多種基材。產(chǎn)品通過 SGS 認(rèn)證，符合電子行業(yè)有害物質(zhì)限制要求，其高感光度與耐摩擦性，確保絲網(wǎng)印刷的清晰度與耐久性。公司提供技術(shù)參數(shù)匹配、制版工藝指導(dǎo)等本地化服務(wù)，幫助客戶優(yōu)化生產(chǎn)流程，降低材料損耗。
吉田半導(dǎo)體 JT-3001 厚板光刻膠：歐盟 RoHS 認(rèn)證，PCB 電路板制造
憑借抗深蝕刻性能與環(huán)保特性，吉田 JT-3001 厚板光刻膠成為 PCB 行業(yè)材料。
吉田半導(dǎo)體推出的 JT-3001 厚板光刻膠，分辨率達(dá) 1.5μm，抗深蝕刻速率 > 500nm/min，適用于高密度電路板制造。產(chǎn)品通過歐盟 RoHS 認(rèn)證，采用無鹵無鉛配方，符合環(huán)保要求。其優(yōu)異的感光度與留膜率，確保復(fù)雜線路圖形的成型，已應(yīng)用于華為 5G 基站主板量產(chǎn)。公司提供從材料選型到工藝優(yōu)化的全流程支持，助力客戶提升生產(chǎn)效率與良率。
光刻膠技術(shù)突破加速，對芯片制造行業(yè)有哪些影響？
技術(shù)研發(fā)：從配方到工藝的經(jīng)驗(yàn)壁壘
配方設(shè)計(jì)的“黑箱效應(yīng)”
光刻膠配方涉及成百上千種成分的排列組合，需通過數(shù)萬次實(shí)驗(yàn)優(yōu)化。例如，ArF光刻膠需在193nm波長下實(shí)現(xiàn)0.1μm分辨率，其光酸產(chǎn)率、熱穩(wěn)定性等參數(shù)需精確匹配光刻機(jī)性能。日本企業(yè)通過數(shù)十年積累形成的配方數(shù)據(jù)庫，國內(nèi)企業(yè)短期內(nèi)難以突破。
工藝控制的極限挑戰(zhàn)
光刻膠生產(chǎn)需在百級超凈車間進(jìn)行，金屬離子含量需控制在1ppb以下。國內(nèi)企業(yè)在“吸附一重結(jié)晶一過濾一干燥”耦合工藝上存在技術(shù)短板，導(dǎo)致產(chǎn)品批次一致性差。例如，恒坤新材的KrF光刻膠雖通過12英寸產(chǎn)線驗(yàn)證，但量產(chǎn)良率較日本同類型產(chǎn)品低約15%。
EUV光刻膠的“代際鴻溝”
EUV光刻膠需在13.5nm波長下工作，傳統(tǒng)有機(jī)光刻膠因吸收效率低、熱穩(wěn)定性差面臨淘汰。國內(nèi)企業(yè)如久日新材雖開發(fā)出EUV光致產(chǎn)酸劑，但金屬氧化物基光刻膠（如氧化鋅）的納米顆粒分散技術(shù)尚未突破，導(dǎo)致分辨率只達(dá)10nm，而國際水平已實(shí)現(xiàn)5nm。
吉田半導(dǎo)體全流程解決方案，賦能客戶提升生產(chǎn)效率。廈門進(jìn)口光刻膠感光膠
納米級圖案化的主要工具。浙江低溫光刻膠
不同光刻膠類型的適用場景對比
類型 波長范圍 分辨率 典型應(yīng)用產(chǎn)品
G線/i線光刻膠 436/365nm ≥1μm PCB、LCD黑色矩陣 吉田半導(dǎo)體JT-100系列
KrF光刻膠 248nm 0.25-1μm 28nm以上芯片、Mini LED制備 吉田半導(dǎo)體YK-300系列
ArF光刻膠 193nm 45nm-0.25μm 14nm及以上芯片、OLED電極圖案化 國際主流：JSR ARF系列
EUV光刻膠 13.5nm ≤7nm 7nm以下先進(jìn)制程、3D NAND堆疊 研發(fā)中（吉田半導(dǎo)體合作攻關(guān)）
水性光刻膠 全波長適配 5-50μm 柔性顯示、環(huán)保PCB阻焊層 吉田半導(dǎo)體WT-200系列
總結(jié)：多領(lǐng)域滲透的“工業(yè)維生素”
光刻膠的應(yīng)用深度綁定電子信息產(chǎn)業(yè)，從半導(dǎo)體芯片的“納米級雕刻”到PCB的“毫米級線路”，再到顯示面板的“色彩精細(xì)控制”，其技術(shù)參數(shù)（分辨率、耐蝕刻性、靈敏度）需根據(jù)場景設(shè)計(jì)。隨著**新能源（車規(guī)芯片、光伏）、新型顯示（Micro LED）、先進(jìn)制造（納米壓�。�**等領(lǐng)域的發(fā)展，光刻膠的應(yīng)用邊界將持續(xù)擴(kuò)展，成為支撐制造的關(guān)鍵材料。
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